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1、第5章 能帶理論基礎(chǔ),電子公有化運(yùn)動(dòng)各種雜質(zhì)能級(jí)及其在能帶中的分布特征各種缺陷能級(jí)特征直接能隙和間接能隙的特征熱平衡載流子濃度的特征費(fèi)米分布函數(shù),5.1 能帶理論的引入 能帶理論,是研究固體中電子運(yùn)動(dòng)規(guī)律的一種近似理論。 固體由原子組成,原子又包括原子核和最外層電子,它們均處于不斷的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)。為使問(wèn)題簡(jiǎn)化,首先假定固體中的原子核固定不動(dòng),并按一定規(guī)律作周期性排列,然后進(jìn)一步認(rèn)為每個(gè)
2、電子都是在固定的原子實(shí)周期勢(shì)場(chǎng)及其他電子的平均勢(shì)場(chǎng)中運(yùn)動(dòng),這就把整個(gè)問(wèn)題簡(jiǎn)化成單電子問(wèn)題。能帶理論就屬這種單電子近似理論,它首先由F.布洛赫和L.-N.布里淵在解決金屬的導(dǎo)電性問(wèn)題時(shí)提出。,單個(gè)原子核的電子結(jié)構(gòu): 外層電子圍繞原子核做周期性的圓周運(yùn)動(dòng) 外層電子軌道分布:1s,2s2p,3s3p3d, 靠近原子核的電子,受到束縛強(qiáng),能級(jí)低;遠(yuǎn)離原子核的電子束縛弱,能級(jí)高。電子從一個(gè)能級(jí)躍
3、遷到另一個(gè)能級(jí),需要吸收能量,或釋放能量。 原子核內(nèi)層電子,能量低,束縛力大,能級(jí)重疊很少;外層電子,能量高,束縛力小,能級(jí)重疊較多。重疊能級(jí)上的電子,就不局限于某一個(gè)原子核,很容易從一個(gè)原子核的外層,轉(zhuǎn)移到另一相鄰原子核的外層,造成外層電子可以在整個(gè)晶體中運(yùn)動(dòng),為晶體所有原子共有,這種現(xiàn)象為電子共有化,每個(gè)軌道能分裂成N個(gè)相近的能級(jí)(簡(jiǎn)并度N),這個(gè)軌道上有m個(gè)電子,軌道就分裂成mN個(gè)能量相近的能級(jí),這些分裂的能
4、級(jí)數(shù)量大,且能量差極小。這些能量相近的能級(jí),形成能帶,能量低的能帶中,充滿電子,叫滿帶(價(jià)帶),其電子可以躍遷到導(dǎo)帶;能量最高的能帶中,往往是全空或半充滿狀態(tài),電子沒(méi)有充滿,叫導(dǎo)帶;導(dǎo)帶與價(jià)帶之間,叫禁帶;導(dǎo)帶低(Ec)和價(jià)帶頂(Ev)之間的能量差,就是禁帶寬度(Eg) 注意: 能帶的寬窄,由晶體的性質(zhì)決定的;與晶體中所含的原子數(shù)目無(wú)關(guān);但每個(gè)能帶中所含的能級(jí)數(shù)目,與晶體中的原子數(shù)有關(guān)。,材料的導(dǎo)
5、電性能,取決于其能帶結(jié)構(gòu)絕緣體:導(dǎo)帶式空的,且禁帶很寬(Eg=3-7eV),一般情況下,價(jià)帶上的電子很難躍遷到導(dǎo)帶導(dǎo)體:金屬材料的導(dǎo)帶和價(jià)帶,有相當(dāng)部分是重合的,中間沒(méi)有禁帶,導(dǎo)體存在大量的自由電子,導(dǎo)電能力很強(qiáng)半導(dǎo)體:低溫條件下,導(dǎo)帶中一般沒(méi)有電子或極少電子,半導(dǎo)體導(dǎo)電性能差;禁帶寬度不是很寬,一定條件下(升溫,能量激發(fā)等),價(jià)帶電子可以躍遷到導(dǎo)帶,同時(shí)在價(jià)帶中留有空穴,電子和空穴可以同時(shí)導(dǎo)電(兩種載流子導(dǎo)電)禁帶寬度
6、,受溫度影響,溫度影響載流子濃度,影響電子的躍遷,5.2 半導(dǎo)體中的載流子半導(dǎo)體導(dǎo)電,是有電子和空穴的定向擴(kuò)散和漂移形成的。半導(dǎo)體電子-空穴對(duì)的產(chǎn)生與復(fù)合低溫下,價(jià)帶基本上是充滿的,導(dǎo)帶幾乎是空的,當(dāng)溫度升高時(shí),價(jià)帶電子獲得足夠的熱量(≥Eg),躍遷到導(dǎo)帶,同時(shí)在價(jià)帶產(chǎn)生一個(gè)空穴。導(dǎo)帶電子也可以釋放能量,回到低能級(jí)的價(jià)帶,和空穴復(fù)合。在沒(méi)有外界電場(chǎng)的作用下,溫度一定時(shí),電子和空穴的產(chǎn)生和復(fù)合式平衡的,空穴濃度和電子濃度相等。當(dāng)存
7、在外界電場(chǎng)時(shí),電子逆電場(chǎng)方向運(yùn)動(dòng),形成電流(電子電流);空穴順電場(chǎng)方向運(yùn)動(dòng),同樣形成電流(空穴電流)。電子和空穴,都是載流子。,5.3 雜質(zhì)能級(jí)為了控制半導(dǎo)體的性能,人為摻入雜質(zhì)。引入雜質(zhì)能級(jí)本征半導(dǎo)體:純凈的,不含任何雜質(zhì)和缺陷的半導(dǎo)體本征激發(fā):共價(jià)鍵上的電子激發(fā)成準(zhǔn)自由電子,即價(jià)帶上的電子,激發(fā)成為導(dǎo)帶電子,在價(jià)帶上留有一個(gè)空穴。電子和空穴成對(duì)產(chǎn)生。引入雜質(zhì)后(與半導(dǎo)體本體元素不同的其它元素),雜質(zhì)(包括缺陷)在平衡位
8、置上振動(dòng),使實(shí)際半導(dǎo)體晶格偏離理想狀態(tài)。在禁帶中引入雜質(zhì)(包括缺陷能級(jí)),會(huì)改變?cè)械陌雽?dǎo)體晶格中的周期性勢(shì)場(chǎng),從而影響半導(dǎo)體材料的物理化學(xué)性質(zhì)。,Si晶體在室溫下,本征載流子的濃度只有1010個(gè)/cm3,導(dǎo)電性能很差。 當(dāng)摻入P的濃度為10-6(P/Si的原子濃度),本征硅的硅原子濃度為1022-1023個(gè)/cm3,這樣使載流子的濃度提高到1016-1017個(gè)/cm3,載流子濃度提高了10
9、6-107倍,電子就成為多數(shù)載流子(多子),空穴就成為少數(shù)載流子(少子),這就形成了N型半導(dǎo)體。,淺能級(jí)雜質(zhì):能級(jí)接近導(dǎo)帶低(Ec)或價(jià)帶頂(Ev);對(duì)半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能直接做出貢獻(xiàn),提供載流子。 深能級(jí)雜質(zhì):能級(jí)遠(yuǎn)離近導(dǎo)帶低(Ec)或價(jià)帶頂(Ev),處于禁帶中間附近。深能級(jí)對(duì)載流子沒(méi)有貢獻(xiàn),但對(duì)少子壽命有影響,因?yàn)樯钅芗?jí)可能為電子或空穴的復(fù)合中心,或成為電子或空穴的捕獲中心(陷阱)。深能級(jí)雜質(zhì),是有害的雜質(zhì)。金屬雜質(zhì),特別是過(guò)
10、度金屬雜質(zhì),基本上都是深能級(jí)雜質(zhì)。,中性雜質(zhì):硅晶體中有C,(Ge)等雜質(zhì),在晶格位置上,不改變價(jià)電子數(shù),不提供電子,也不提供空穴,呈電中性,在禁帶中不引入能級(jí)。 雜質(zhì)的補(bǔ)償作用 半導(dǎo)體中,同時(shí)存在施主雜質(zhì)(Donor)和受主(Acceptor)雜質(zhì)時(shí),施主和受主之間有相互抵消的作用。 當(dāng)ND>NA 時(shí):n =ND-NA ,此時(shí)為n型半導(dǎo)體 當(dāng)ND<NA 時(shí):p= NA- ND ,此時(shí)為
11、p型半導(dǎo)體 當(dāng)ND≈NA 時(shí):雜質(zhì)的高度補(bǔ)償,雜質(zhì)不能向?qū)Ш蛢r(jià)帶提供電子與空穴。,5.4 缺陷能級(jí)空位缺陷:硅晶體中,有空位,相當(dāng)于空位周圍的四個(gè)硅原子都有一個(gè)未成對(duì)的電子(懸 掛鍵),傾向于接受電子,形成飽和的共價(jià)鍵,所以起受主作用,形 成受主 能級(jí)。自間隙原子:硅晶體中的自間隙原子,有四個(gè)價(jià)電子,可以提供電子,形成施主能級(jí)線缺陷:位錯(cuò)包
12、括刃位錯(cuò),螺旋位錯(cuò)和混合位錯(cuò),一般認(rèn)為因由懸掛鍵而形成能級(jí),但有 研究表明,純凈的位錯(cuò)是沒(méi)有電學(xué)性能的,在禁帶中不引入能級(jí)。但位錯(cuò)中如果 富集了金屬雜質(zhì)或其它雜質(zhì),就可能引入能級(jí)面缺陷:包括層錯(cuò),晶界和表明等,晶體的界面和表明都存在懸掛鍵(表面態(tài)),可以在 禁帶中引入能級(jí),而且往往是深能級(jí)。體缺陷:異質(zhì)沉淀和空隙,一般不引入能級(jí),但它們和基
13、體之間的界面,往往產(chǎn)生缺陷能 級(jí)。 缺陷引入的能級(jí)和深能級(jí)一樣,對(duì)半導(dǎo)體的性能是有害的(載流子的捕獲或復(fù)合中心),影響少子壽命。,5.5 直接能隙與間接能隙間接帶隙半導(dǎo)體:導(dǎo)帶最小值(導(dǎo)帶底)和滿帶最大值在k空間中不同位置。形成半滿能帶不只需要吸收能量,還要改變動(dòng)量。( Si、Ge )直接帶隙半導(dǎo)體:導(dǎo)帶最小值(導(dǎo)帶底)和滿帶最大值在k空間中同一位置。電子要躍遷到導(dǎo)帶上產(chǎn)
14、生導(dǎo)電的電子和空穴(形成半滿能帶)只需要吸收能量。(GaAs、InP),直接帶隙半導(dǎo)體的重要性質(zhì): 當(dāng)價(jià)帶電子往導(dǎo)帶躍遷時(shí),電子波矢不變,在能帶圖上即是豎直地躍遷,這就意味著電子在躍遷過(guò)程中,動(dòng)量可保持不變——滿足動(dòng)量守恒定律。相反,如果導(dǎo)帶電子下落到價(jià)帶(即電子與空穴復(fù)合)時(shí),也可以保持動(dòng)量不變——直接復(fù)合,即電子與空穴只要一相遇就會(huì)發(fā)生復(fù)合(不需要聲子來(lái)接受或提供動(dòng)量)。
15、 因此,直接帶隙半導(dǎo)體中載流子的壽命必將很短;同時(shí),這種直接復(fù)合可以把能量幾乎全部以光的形式放出(因?yàn)闆](méi)有聲子參與,故也沒(méi)有把能量交給晶體原子)——發(fā)光效率高 (這也就是為什么發(fā)光器件多半采用直接帶隙半導(dǎo)體來(lái)制作的根本原因)。,5.6 熱平衡下的載流子半導(dǎo)體材料的性質(zhì),強(qiáng)烈的取決于其載流子濃度,在摻雜濃度一定時(shí),載流子濃度由溫度決定。本征激發(fā):絕對(duì)零度時(shí),電子束縛在價(jià)帶,半導(dǎo)體沒(méi)有自由電子和空穴,沒(méi)有載流子,不導(dǎo)電。當(dāng)
16、溫度升高,電子從震動(dòng)的晶格中吸收能量,從低能級(jí)躍遷至高能級(jí),如 從價(jià)帶躍遷至導(dǎo)帶,形成自由的導(dǎo)帶電子和價(jià)帶空穴,為本征激發(fā)。雜質(zhì)半導(dǎo)體:除本征激發(fā)外,還有雜質(zhì)電離。在極低溫度下,雜質(zhì)電子也束縛在雜質(zhì)能級(jí)上,導(dǎo)電性能很差。當(dāng)升溫,雜質(zhì)能級(jí)上的電子,同樣吸收能量,電離成自由電子,從低能級(jí)躍遷到高能級(jí),如從施主能級(jí)躍遷到導(dǎo)帶形成自由的導(dǎo)帶電子,或從價(jià)帶躍遷到受主能級(jí),而在價(jià)帶產(chǎn)生空穴。因此,隨著溫度的上升,不斷產(chǎn)生載流子。但在一定溫度
17、下,載流子吸收能量,從低能級(jí)躍遷到高能級(jí),也會(huì)從高能級(jí)躍遷到低能級(jí)(復(fù)合),釋放能量。一定溫度下,如果沒(méi)有外界能量作用,載流子不斷產(chǎn)生,又不斷復(fù)合,最終達(dá)到平衡。此時(shí)半導(dǎo)體處于熱平衡狀態(tài)。,費(fèi)米分布函數(shù) 載流子在半導(dǎo)體材料中的狀態(tài),一般用量子統(tǒng)計(jì)的方法研究,其狀態(tài)密度和在能級(jí)中的費(fèi)米分布,是其主要形式。 量子統(tǒng)計(jì)學(xué)的假設(shè)條件: 電子式獨(dú)立的,相互之間的作用力弱;在同一體系內(nèi),兩個(gè)電子的交換,不引
18、起能量的變化;同一個(gè)能級(jí)中最多可容納自旋方向相反的兩個(gè)電子,每個(gè)量子態(tài)最多能容納一個(gè)電子。上述假設(shè)條件下,熱平衡條件下半導(dǎo)體中電子按能量大小服從一定的統(tǒng)計(jì)分布規(guī)律。能量為E的一個(gè)量子態(tài)被一個(gè)電子占據(jù)的幾率為Fermi分布函數(shù):,,,或?qū)懗桑?f(E)---費(fèi)米分布函數(shù);k0—波耳茲曼常數(shù)(k = 1.38 × 10?23 J/K);T—熱力學(xué)溫度(K)EF---費(fèi)米能級(jí)(具有能量量綱),E:電子的能量(eV),費(fèi)米分布函數(shù)
19、中,若E-EF>>k0T,則分母中的1可以忽略,上式化為電子的玻耳茲曼分布函數(shù):,,同理,空穴的Fermi分布,,在EF-E>>k0T時(shí),空穴玻耳茲曼分布:,,當(dāng)E=EF時(shí): f(E)=1/(exp((E-EF)/k0T+1))=1/2 即電子占據(jù)幾率為1/2的能級(jí),就是費(fèi)米能級(jí)。 費(fèi)米分布函數(shù)f(E),隨能量(E)變化的關(guān)系圖如下:,(1)T=0 K時(shí)
20、 當(dāng)E<Ef時(shí):(E-Ef)<0 則(E-Ef)/kT→-∞,而e-∞→0, f(E)≈1。 當(dāng)E>Ef時(shí):(E-Ef)>0 則(E-Ef)/kT→∞,而e∞→∞, f(E)≈0。,(2)T>0 K時(shí) 比EF小的能級(jí)被電子占據(jù)的概率隨能級(jí)升高而逐漸減少,而比EF大的能級(jí),被電子占據(jù)的概率隨能級(jí)降低而逐漸增大。,隨溫度升高,電子吸收能量,從低能級(jí)躍遷到高能級(jí),空穴從高能級(jí)躍遷到
21、低能級(jí),電子占據(jù)的能級(jí)越高,空穴占據(jù)的能級(jí)就越低,體系能量升高。,例如: 當(dāng)E比EF高5k0T有:f(E)=1/(exp((E-EF) / k0T+1)) =1/(e5+1)=0.007 當(dāng)溫度不太高時(shí),能量大于EF的量子態(tài),基本沒(méi)電子占據(jù) 當(dāng)E比EF低5k0T有: f(E)=1/(exp((E-EF)/k0T+1))
22、 =1/(e-5+1)=0.993 當(dāng)溫度不太高時(shí),能量小于Ef的量子態(tài),基本被電子占據(jù) 電子占據(jù)EF的的概率,在各溫度下,都是1/2,電子濃度和空穴濃度 經(jīng)研究和數(shù)學(xué)推算,平衡態(tài)非簡(jiǎn)并半導(dǎo)體導(dǎo)帶電子濃度n0 :,其中:EF—費(fèi)米能級(jí); Ec—倒帶底;T—熱力學(xué)溫度K0—玻耳茲曼常數(shù)(k = 1.38× 10?23 J/K)
23、,其中 稱為導(dǎo)帶的有效狀態(tài)密度, mn*為電子有效質(zhì)量。,,,同樣經(jīng)過(guò)推算,空穴在價(jià)帶上的濃度p0為,,,,其中 稱為價(jià)帶的有效狀態(tài)密度,mp*為空穴有效質(zhì)量。,,從上述推導(dǎo)結(jié)果可知:p0 , n0主要取決于溫度和費(fèi)米能級(jí),而費(fèi)米能級(jí)與溫度,和半導(dǎo)體材料的雜質(zhì)類型和雜
24、質(zhì)濃度有關(guān)。 對(duì)于晶體硅,在300K時(shí): Nc =2.8×1019個(gè)/cm3, Nv=1.2×1019個(gè)/cm3。 影響導(dǎo)帶電子和價(jià)帶空穴的濃度的主要因素①電子和空穴的有效質(zhì)量---有材料本身決定的②溫度T:隨著溫度的提高,Nc和Nv都增加
25、,n0 和 p0 都增加③與EF的位置有關(guān)。 當(dāng)費(fèi)米能級(jí)Ef接近導(dǎo)帶底(EF→Ec)時(shí):(Ec-EF)下降,(EF越高),導(dǎo)帶電子濃度就越高,(對(duì)應(yīng)的施主能級(jí)ND也較高) 當(dāng)EF接近價(jià)帶頂(EF→Ev)時(shí):(Ev-EF)下降,(EF越低),價(jià)帶的空穴濃度越高,(對(duì)應(yīng)的受主能級(jí)NA 越低) 所以,n0 和 p0與摻雜有關(guān),取決于摻雜的類型和數(shù)量。,空穴濃度和電子的濃度
26、乘積為:,,載流子的濃度積,只與溫度有關(guān)。與雜質(zhì)無(wú)關(guān)。 對(duì)某種半導(dǎo)體材料而已,Eg是一定的,在一定溫度下,其熱平衡的載流子濃度的乘積是一定的,與半導(dǎo)體的摻雜類型和濃度無(wú)關(guān)。,本征半導(dǎo)體的載流子濃度 本征半導(dǎo)體是沒(méi)雜質(zhì)和結(jié)晶近乎完美的單晶半導(dǎo)體。 在0K時(shí),所有價(jià)帶都被電子占據(jù),所有導(dǎo)帶都是空的,沒(méi)有任何自由電子,不導(dǎo)電。 但當(dāng)溫度升高時(shí),產(chǎn)生本征激發(fā),價(jià)帶的電子吸收晶格能
27、,激發(fā)到導(dǎo)帶,成為自由電子,同時(shí)價(jià)帶出現(xiàn)數(shù)量相等的空穴,電子和空穴是成對(duì)出現(xiàn)的。 所以n0=p0,如果設(shè)本征半導(dǎo)體載流子濃度為ni,則: n0 p0 = ni2,,,所以,ni 還是溫度T的函數(shù)。 影響ni的因素: (1)電子和空穴的有效質(zhì)量,Eg,這些因素是由材料本身決定的。 (2)T的影響:溫度升高,lnT 升高,1/T下降,ni升高;
28、 Ln(ni)—1/T作圖,近似一條直線,其斜率為(-Eg/2k),又由本征半導(dǎo)體中電子濃度n0與空穴濃度p0相等,所以,,可求得本征費(fèi)米能級(jí)Ei為:,,N型半導(dǎo)體的載流子濃度為:,,式中Nd為雜質(zhì)全部電離的施主濃度。,因?yàn)樵贜型半導(dǎo)體中,Nd 》ni,可近似認(rèn)為:,,,即有:,,對(duì)P型半導(dǎo)體,則有,導(dǎo)帶低下降一點(diǎn),是費(fèi)米能級(jí),靠近導(dǎo)帶低,價(jià)帶頂上升一點(diǎn),靠近價(jià)帶頂,摻雜半導(dǎo)體的載流子濃度及補(bǔ)償(1)摻雜半導(dǎo)體的載流
29、子濃度變化特征 本征半導(dǎo)體的載流子濃度僅為1010個(gè)/cm3左右,基本上不導(dǎo)電。通常需要在本征半導(dǎo)體中摻入一定雜質(zhì),來(lái)控制半導(dǎo)體的電學(xué)性能,形成雜質(zhì)半導(dǎo)體。因?yàn)殡s質(zhì)的電離能比禁帶小的多(處于禁帶中),雜質(zhì)能級(jí),很容易影響半導(dǎo)體的導(dǎo)電性能。 本征激發(fā)是載流子的主要來(lái)源,但硅本征半導(dǎo)體中,室溫時(shí),ni=1010個(gè)/cm3,硅原子密度為1023個(gè)/cm3, 雜質(zhì)原子/硅原子
30、<<本征載流子/硅原子密度=1010/1023=10-13。 這要求單晶硅的純度要達(dá)到10-13,是非常艱難的,實(shí)際半導(dǎo)體的純度是達(dá)不到如此高的純度。 同時(shí),本征載流子的濃度,隨溫度變化很大,在室溫附近: Si單晶體的溫度上升8K,ni上升一倍 Ge半導(dǎo)體,T上升12K,ni上升一倍。 本征半導(dǎo)體的導(dǎo)電性能很難控制。
31、 因此,實(shí)際工作中,是通過(guò)摻雜來(lái)控制半導(dǎo)體的導(dǎo)電性能。,N型硅半導(dǎo)體中,載流子濃度與溫度的關(guān)系(書上圖5-12橫坐標(biāo)有問(wèn)題?) 在極低的溫度下,摻雜半導(dǎo)體中,首先發(fā)生的是電子從施主能級(jí)激發(fā)到導(dǎo)帶,或空穴從受主能級(jí)激發(fā)到價(jià)帶; 隋著溫度的增加,載流子濃度不斷增大,當(dāng)達(dá)到一定溫度時(shí),雜質(zhì)達(dá)到飽和電離,幾所有的雜質(zhì)都電離,此溫度區(qū)域,成為雜質(zhì)電離區(qū),此時(shí)本征激發(fā)的載流子濃度依然較低,半導(dǎo)體的
32、中的載流子濃度保持基本恒定,主要由電離的雜質(zhì)濃度決定,稱為非本征區(qū); 當(dāng)溫度繼續(xù)升高,本征激發(fā)的載流子大量增加,此時(shí)的載流子濃度由電離雜質(zhì)濃度和本征載流子濃度共同決定,此溫度區(qū)稱為本征區(qū)。,(2)N型半導(dǎo)體的載流子濃度雜質(zhì)全部電離, Nd 》ni, 經(jīng)數(shù)學(xué)推導(dǎo)有:,(Nc>Nd,導(dǎo)帶的有效態(tài)密度要大于施主雜質(zhì)的有效電離的濃度) N型半導(dǎo)體的費(fèi)米能級(jí),隨溫度的升高,逐漸偏離Ec,向近代中心靠近,而且
33、是線性下降。,注意: 如果:Nc<Nd,即雜質(zhì)濃度較高時(shí)(重?fù)诫s),導(dǎo)帶的有效態(tài)密度要小于施主雜質(zhì)的有效電離的濃度,費(fèi)米能級(jí),隨溫度的升高而到極大值后,而后減小,趨近禁帶中心。 如果雜質(zhì)濃度很大(重?fù)诫s),費(fèi)米能級(jí)的最大值,就會(huì)進(jìn)入導(dǎo)帶Ec,導(dǎo)帶中的電子已經(jīng)很多了,此時(shí)f(E)<<1的條件就不成立,不符合泡利不相容原理,電子分布也不符合玻耳茲曼分布函數(shù),應(yīng)該用費(fèi)米分布函數(shù)來(lái)統(tǒng)計(jì)導(dǎo)帶(或價(jià)帶
34、)的電子(或空穴)的統(tǒng)計(jì)分布問(wèn)題。 這種情況稱為載流子的簡(jiǎn)并化,發(fā)生載流子簡(jiǎn)并化的半導(dǎo)體稱為簡(jiǎn)并半導(dǎo)體。簡(jiǎn)并半導(dǎo)體和非簡(jiǎn)并半導(dǎo)體的性質(zhì)是很不相同的。,(3)P型半導(dǎo)體的載流子濃度 同樣P型半導(dǎo)體中摻入受主雜質(zhì)的濃度為Na,費(fèi)米能級(jí)為: 當(dāng)溫度升高,費(fèi)米能級(jí)逐漸偏離Ev,趨向禁帶中心。,載流子的補(bǔ)償 假如半導(dǎo)體材料中
35、,同時(shí)存在施主雜質(zhì)和受主雜質(zhì),電離時(shí),施主雜質(zhì)電離的電子,首先躍遷到能量低的受主雜質(zhì)能級(jí)上,產(chǎn)生補(bǔ)償。 當(dāng)Nd>Na 時(shí),半導(dǎo)體為N型,其載流子濃度n0=Nd-Na; 當(dāng)Nd<Na 時(shí),半導(dǎo)體為P型,載流子濃度p0= Na-Nd。注意: 當(dāng)半導(dǎo)體摻雜濃度超過(guò)一定量時(shí),半導(dǎo)體載流子開始簡(jiǎn)并化的現(xiàn)象,叫重?fù)诫s。 簡(jiǎn)并化半導(dǎo)
36、體,是指由于雜質(zhì)濃度高,造成雜質(zhì)電離的電子波函數(shù)開始交疊,使孤立的雜質(zhì)能級(jí)擴(kuò)展為雜質(zhì)能帶。雜質(zhì)能帶中的電子,通過(guò)雜質(zhì)原子之間的共有化運(yùn)動(dòng)參加導(dǎo)電(雜質(zhì)帶導(dǎo)電),重?fù)诫s是,雜質(zhì)能帶進(jìn)入導(dǎo)帶或價(jià)帶,形成新的兼并能帶,簡(jiǎn)并能帶尾部進(jìn)入導(dǎo)禁帶中,形成帶尾,從而導(dǎo)致禁帶變窄(禁帶變窄效應(yīng)),非平衡少數(shù)載流子 半導(dǎo)體熱平衡狀態(tài)下的載流子濃度稱為平衡載流子濃度,用n0,p0表示。在非簡(jiǎn)并情況下,滿足:,外界作用(如光照),使半導(dǎo)體
37、偏離熱平衡狀態(tài),稱為非平衡狀態(tài)。在這種狀態(tài)下,比平衡狀態(tài)多出來(lái)的這部分“過(guò)剩”的載流子就叫作非平衡載流子,其濃度用Δn,Δp表示。非平衡載流子引入的附加電導(dǎo)率Δσ:,μn、μp分別為電子和空穴的遷移速率。會(huì)增加導(dǎo)電性能,產(chǎn)生非平衡載流子的外部作用撤銷后,由于半導(dǎo)體內(nèi)部作用,使它有非平衡態(tài)恢復(fù)到平衡狀態(tài),過(guò)剩載流子逐漸消失的這一過(guò)程稱為非平衡載流子的復(fù)合。 非平衡載流子的壽命τ:非平衡載流子的平均生存時(shí)間。 復(fù)合
38、幾率P:?jiǎn)挝粫r(shí)間內(nèi)非平衡載流子的復(fù)合幾率,P= 1/τ。 復(fù)合率U:?jiǎn)挝粫r(shí)間單位體積內(nèi)凈復(fù)合消失的電子-空穴對(duì)的數(shù) 目,U= ?p/τ。 設(shè)半導(dǎo)體內(nèi)均勻產(chǎn)生非平衡載流子,在t=0時(shí)刻撤銷激發(fā)條件,非平衡少數(shù)載流子因復(fù)合而逐漸消失,其隨時(shí)間變化關(guān)系為,N型半導(dǎo)體:,P型半導(dǎo)體:,可見,壽命標(biāo)志著非平衡載流子濃度減小到原值的1/e時(shí)所經(jīng)歷的時(shí)間。,測(cè)試壽命的
39、方法一般有:直流光電導(dǎo)衰減法;高頻光電導(dǎo)衰減法;光磁電法等。 壽命τ的數(shù)值主要取決于載流子的復(fù)合,就復(fù)合過(guò)程的微觀機(jī)制講,可分為直接復(fù)合和間接復(fù)合,體內(nèi)復(fù)合和表面復(fù)合,輻射復(fù)合和俄歇復(fù)合。直接復(fù)合 電子或空穴在導(dǎo)帶和價(jià)帶之間直接躍遷而引起非平衡載流子復(fù)合就是直接復(fù)合。 在直接復(fù)合機(jī)構(gòu)中,非平衡載流子的壽命:,小注入條件下(n0+
40、p0)>>?p 對(duì)n型 對(duì)p型 對(duì)本征型 由此可見,小注入條件下,溫度和摻雜一定時(shí),
41、壽命是一常數(shù),與多子濃度成反比。 在大注入條件下,壽命不再是常數(shù):,間接復(fù)合 非平衡載流子通過(guò)復(fù)合中心的復(fù)合就是間接復(fù)合。 小注入時(shí),(Nt:為復(fù)合中心濃度) 對(duì)強(qiáng)n型材料: 對(duì)強(qiáng)p型材料 :注意: 當(dāng)EF≈Ei(禁帶中心位置)的深能級(jí)是最有效的復(fù)
42、合中心。 金的復(fù)合作用:Au在Si中既能起施主作用,又可作為 受主。n型Si中,受主作用,由Au-對(duì)空穴的俘獲決定少子壽命;p型Si中,施主作用,由Au+對(duì)電子的俘獲決定少子壽命,表面復(fù)合 通常用表面復(fù)合速度S來(lái)描寫表面復(fù)合的快慢,它直觀而形象地說(shuō)明由于表面復(fù)合而失去的非平衡載流子數(shù)目,就如同表面處的非平衡載流子(Δp)S, 以S
43、大小的垂直速度流出了表面,即:Us=S (Δp)S 復(fù)合包括體內(nèi)復(fù)合和表面復(fù)合,總的復(fù)合幾率為,俄歇復(fù)合 電子和空穴復(fù)合時(shí)把多余的能量傳遞給第三個(gè)載流子,這個(gè)載流子被激發(fā)到更高能量的能級(jí),當(dāng)它再躍遷到 低能態(tài)時(shí),以發(fā)射聲子的形式釋放能量,這種復(fù)合叫俄歇復(fù)合 陷阱效應(yīng)的概念; 最有效陷阱效應(yīng)在Et=EF 雜質(zhì)能級(jí)能積累某種非平衡載流子
44、的效應(yīng),稱為陷阱效應(yīng)。 電子陷阱——能積累電子的雜質(zhì)或缺陷能級(jí) 空穴陷阱——能積累空穴的雜質(zhì)或缺陷能級(jí)。 Et=EF 時(shí),陷阱效應(yīng)最有效。實(shí)際的陷阱通常是少數(shù)載流子陷阱。陷阱與復(fù)合中心的區(qū)別: 陷阱俘獲一種載流子后,基本不能俘獲另一種載流子,它可以在被激發(fā)到導(dǎo)帶(電子)或價(jià)帶(空穴)。復(fù)合中心俘獲一種
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