掃描電子顯微鏡之--二次電子se背散射電子bse特征x射線樣品電流俄歇電子ebic陰極熒光ebsd等信號(hào)原理

1、掃描電子顯微鏡發(fā)展的核心任務(wù)，是追求對(duì)各種固體材料表面的高分辨形貌觀察。形貌圖像采用二次電子信號(hào)進(jìn)行成像，圖像分辨率和放大倍數(shù)連續(xù)可調(diào)，大景深，立體感強(qiáng)是其基本特色。然而實(shí)現(xiàn)掃描電鏡的商品化，從掃描電鏡發(fā)明和發(fā)展歷史上看，自1935年Knoll研究二次發(fā)射現(xiàn)象，偶然觀察到靶材的形狀，到1965年商品化掃描電鏡的推出，經(jīng)歷了30年。這期間對(duì)于掃描電鏡成像信號(hào)的認(rèn)識(shí)和利用是一個(gè)不斷探索的試驗(yàn)研究過(guò)程。對(duì)成像信號(hào)進(jìn)行深入研究，不斷改進(jìn)儀器性能

2、，最后對(duì)成像信號(hào)理論有了全面認(rèn)識(shí)，改進(jìn)提升了了關(guān)鍵技術(shù)，圖像分辨率有了顯著提高，掃描電鏡才得以以商品化的形式突飛猛進(jìn)的發(fā)展。通過(guò)不斷對(duì)電子光學(xué)電子槍，電磁透鏡，以及信號(hào)探測(cè)及成像信號(hào)系統(tǒng)的改進(jìn)，掃描電鏡的分辨率雖然已經(jīng)達(dá)到了很高水平，但距離電子光波的分辨率限度，還有非常大的發(fā)展空間。2010年報(bào)道，科學(xué)家已經(jīng)研制出可以用在場(chǎng)發(fā)射電子槍上的六硼化鑭針尖，據(jù)科學(xué)家介紹，這有望使得掃描電鏡分辨能力有一個(gè)飛躍性提高?？崛勘本┺k公室馳奔如果說(shuō)對(duì)