0.13微米flashmemory中刻蝕工藝研究

1、9 5 4 6 6 8棋旦大擎碩士學位論文( 專業(yè)學位)0 ．1 3 微米F l a s hM e m o r y 中刻蝕工藝研究院 系( 所) ： 信息科學與工程學院專 業(yè)： 電子與通信工程姓 名： 張 瑜指導教師： 黃宜平 教授完成日期： 2 0 0 6 年4 月1 5E j●●A b s t r a c tE t c h i n g i sO n e o f t h em o s t i m p o r t a n tp r o

2、c e s s e s d u r i n gs e m i c o n d u c t o rm a n u f a c t u r e ．T h e s c o p e o f t h i s p a p e r i st oi l l u s t r a t e3 s o l u t i o n s o f t h e y i e l di m p r o v e m e n t a n d p r o d u c t i o n

3、 C O s tr e d u c u o n f o r o n e O ．1 3t i m t e c h n o l o g yf l a s hm e m o I y b y m y p a r t i c i p a t i n g t h e d e v e l o p m e n t a n d s t u d yf o re t c hp r o c e s sT h e m a j o r c o n t r i b

4、u t i o n sa r e l i s t e da sf o l l o w1 ． S o m e l o t sf a i l e d 誦血I I i g h e r S O u r c el i n er e s i s t a n c ed u r i n ge l e c t r i c a lt e s t i n ga n d c a n s e dI O W v i e l d ．A l t e ri n v e

5、s t i g a t i o n ，w ef o m a d r o o tc a u s e o f h J 【g h e rS O U r C e l i n er e s i s t a n c ef a i l u r e i Sm a i n l yd u e t O 吐l el o a d i n ge f f e c to f t h e p r o d u c to nt h e s e l f a l i g n e

6、 d s o u r c e e t c hl e v e l ．T h e d i f f e f e n c eb e t w e e n m e d i 腩r e n td e n s i t y a n d r e t i c l et r a n s m i s s i o no f v a r i o u s p r o d u c t s a f f e c t e dt h e e t c h r a t eo fi n

7、 d i v i d u a lp r o d u c t s H e r l c e t h e s e l f a l i g n e d S o u r c e e t c hr e c i p en e e d s t ob eo p t n m z e d b yu s m g l o w p o w e r c o n d m o n ．H o w e v e r , t h e l o w p o w e r r e c

8、i p ep r e s e n t ss o m e p r o c e s sr e p e a t a b i l i t y c o n c e r n s d u e t Ot h e i n s t a b i l i t yo f p l a s m a ．T w o s o l u t i o n sa r e i m p l e m e n t e d ：a d d i t i o n o f r a m pd o w

9、 n s t e Da n d W a f e r A r e aP r e s s u r e c o n t r 0 1 ．2 ． “C o n t a c t o p e n ’’a n d ‘‘C o n t a c t t OP o l y S h o f ’w e r e f o t m d a f t e rf a i l u r ea n a l y s i s ．T o i m p m v e y i e l da n

10、 d r e d u c et h e c o s t o f o w n e r s h i p ，ac o n t a c te t c hr e c i p ew i t hi n ．s i t Ua s i a , S O c a l l e dM o d u l a r C o n t a c t E t c h ．h a sb e e nd e v e l o p e d ．B yc o m p a r i S O n w

11、i t h c o n v e n t i o n a l c o n t a c t e t c h ，n e wm e t h o d h a s b e t t e r C Du n i f o r m i t y a n dg o o d R e ．A l s o ，m o d u l a r C O r R a c t e t c hh a s s l 【i p p e dp l a s m a a s ha n d r e

12、d u c e d s o l v e n t c o n s u m p t i o n ，t h e m f o r e m o d u l a r e t c hh a s m u c h b e t t e rC o s to f p r o d u c t i o n ．3 ． I n B E O L p r o c c a s ，i n o r d e r t o a c h i e v i n g c o r r o s

13、i o n f l e e ，a n e w e t c M n g p r o c e s sg a s C z H , W a s i m p l e m e n t e d ，a f t e r t h a t W e d i d a l o t o f s t u d y f o r n e w c o n c e p ti m p l e m e n t a t i o n i nn e w p r o c e s s ．B

14、yC O - w o r k i n g w i t he q u i p m e n t e n g i n e e r , w em a d e s t r i p p e rc h a m b e r g a s i n l e t r e t r o f i t ．A l s o ，W e o p t i m i z e dt h e i n c o m i n gp h o t o r e s i s t t h i c k