0.35um工藝單層多晶硅otp存儲器研發(fā)

1、Y 9 5 3 7 1 7梗旦大學(xué)碩士學(xué)位論文( 專業(yè)學(xué)位)0 ·3 5 u m 工藝單層多晶硅O T P 存儲器研發(fā)院 系： 信息科學(xué)與工程學(xué)院專姓指導(dǎo)業(yè)：名：教師：完成日期電子與通信工程夏春新李蔚黃河博士2 0 0 5 年9 月2 7 日學(xué)校代碼：學(xué) 號：1 0 2 4 60 4 3 0 2 1 1 7 3A b s t r a c tO n e P o l yO T P M e m o r y i so n e k i

2、n do f t h e N o n —V o l a t i l eM e m o r y ( N V M ) d e v i c e s a n dh a sb e e nd e v e l o p e d r a p i d l ys i n c ei t w a si n v i t e d ．S i n c e i t h a ss i m p l es t r u c t u r ea n ds t a b l ec h a

3、 r a c t e r i s t i c ，O n e P o l y O T PM e m o r y i s u s e d i n m a n y a p p l i c a t i o n s f o r e x a m p l eM C U ，L C DD i v e r ．e t c ．T h ed a t as t o r a g e i n O T PM e m o r yr e l i e s t o t h e

4、f l o a t i n g g a t e ．H o w e v e r , i t ’S d i f f e r e n t t oo t h e rf l o a t i n gg a t ed e v i c e ( f l a s hE E P R O M ) t h a t i t sm e m o r y c e l li sc o m p o s e do f a c a p a c i t a n c ea n d

5、a n —t y p eM O S F E T ．T h e c a p a c i t a n c ew h i c h i sc o m p o s e do ft h e f l o a t i n g g a t e ，g a t eo x i d e a n d N W E L L c o n t r o l st h ep o t e n t i a l , i nt h ef l o a t i n g g a t ea

6、n d t h en ．t y p et r a n s i s t o ri SU S e d t or e a da n d w r i t e t h ed a t ai nt h e d e v i c e ．I nt h ep a s tm o n t h s ，t w ok i n d so f O T P m e m o r y d e v i c e sw e r ed e v e l o p e d w h i c h

7、h a v et w od i f f e r e n t g a t eo x i d e t h i c k n e s s ．D i f f e r e n tt e s tk e y s w e r ed e v e l o p e d i nm a n y d e v i c e s i z e ．T h e nw a f e r sw e r es t a r t e d t ov e r i f yt h ed e s i

8、 g na n d d e v i c ef u n c t i o n si nS M I C 0 ．3 5 u r nh i 曲v o l t a g e p r o c e s s ．T h e t e s td a t a s h o w s t h a tt h e s e t w oO T P m e m o r y c e l l s h a s o u t s t a n d i n g d a t ar e t e n

9、 t i o n a n dr a p i d w r i t ea n dr e a d s p e e d ．T h e d a t ae r a s e e a r l b ei m p l e m e n t e db yU Vi r r a d i a t i o n ．T h e y C a nm e e tt h er e q u i r e m e n t o f t h el o w d e n s i t y N V

10、 M i nt h ea p p l i c a t i o n s ．A tl a s t ，t h e r e ’S s o m ed i s c u s sa b o u tt h ep o s s i b i l i t yo f m u l t i —e l e c t r o n i c e r a s eo n e p o l yN V Md e v i c e ．K e y w o r d s ：O T P ；F l o