0.35um標(biāo)準(zhǔn)單元庫(kù)的設(shè)計(jì)技術(shù)研究及實(shí)現(xiàn)

1、分類號(hào)：T N 4 7悟蔥l 走。罨碩士學(xué)位論文密級(jí)題 目： ! ：! i 旦塑拯蕉皇亙莊盟塑鹽遮薟盟宜叢塞翌英文并列題目：堡墮型i 堅(jiān)蘭i 堡! ! 型墅! 壘里旦! 旦嬰里! Q ：i ! 翌坐璺! 塑墮型墮研 究 生： 黃義定 專業(yè)： 刻：簋扭廑眉拉苤研究方向： 篡盛電路讓簋扭擅麴遮讓導(dǎo)指導(dǎo)小組成員學(xué)位授予日期答辯委員會(huì)主席：江南大學(xué)地址：無(wú)錫市二0 0 六年三月翌塑查蘭夔主蘭垡堡蘭A b s t r a c tn e d e v

2、 e l o p m e n to fM i c r o e l e d m n i ct e c l l n o l o g y h a sg o n et h r o u g l lL s I ，V L s l ，U L s la g c s 卸d c o m e i n t oG S L a g e i n1 9 9 5 ．A s t l l e r e p r e s e n t a t i V eo f h i - t e c

3、 I I l I o l o g y ，I l l t e g r a t ea r c u i tt e c h n o l o g yh o l d s t l l eb a l 蛐c e o f p o w e r i nt h ed e v e l 叩m e n t o fw o r l d e c o n o m y ．A S I Cd e v e l o p sf 缸t e rd u et o t h es h o nd e

4、 v e l o p m e n t c y d e ，1 0 wd c v e l o p m e n t c o s ta l l dh i g l l r e l i a b i l i t y ．G o o df I l n c t i 伽a lc e n l i b m r y j s ab r i d g c t Ol j n kA S I C u s e r sa l l dp - 0 c e s sl i n e ．I

5、ti si m p o s s i b l et oh a v eh i g l Il e v e lA S l C d e s i 印w j t h o u t9 0 0 dc e l l l i b 刪呼王l lt h i sc 勰e ，b i gc e u l i b m r yh a S b e c o m e ab a r r i e r f o r s h o n e n i n g t h e t i l l l et o

6、e n t e r t ot l l em a r k e t o fV l S I p m d u d s ．I nr e c c n ty e a 璐，d e s i 印b a s e ds t 卸d a r d c e Hi st h em a i n s n e a m d e s i 印s t y l e ．S t a l l d 刪c c nl i b m r yj sg e t t j n g b i g g e r 柚d

7、 b i g g c r ，S 0 m eh a V e b e e no V e f 5 0 0 u n 缸H o w e V e r ，t o c r c a t e ，V e r i f y柚d m a i n t a i nt h e s es t a n d 甜dc e l l l i b T a r i c sn e e da 孕e a tl o t o ft i m e ，m 孤p a w e r 卸d m a t e r

8、 i a lr e s o u r c e s ．M o r e o v e r ，e 巾o r so f t e no c c u r i nt h ec e l ld e s i 印卸dc e l lc h a m d e r i s t i cp r o c e s s ． A tp r c s e n t ，t l l e t e d m o l o g y i s d i v e r s i f j e d 柚dc h a I

9、 I g e s q u i c l 【l y ．S oac e Ul i b r a r y n e e d st O b cm a i n t a i n e d c c m s t a n t l y ．T h i sp a p e r m a i n l yt e l l sa b o u t t l l ec r c a t i o nl i b r a r ) rn o w 撲d V a r i e t i e so f0

10、．3 5 u ms t 柚d a r dc e l ll i b r a 吼i n d u d i n g s y m b o l l i b r a r y ，P ＆R l i b r a r y ，s y l l t I l e s i s l i b r a r y ，s i m u l a t i 咖l i b r a r ) r ，t i m i n g l i b r a r y ，h y o u t l i b m r y

11、 ．I n t h e s e c e U l i b r a r i e s ，t h e r ea r e4 2 0 c e l l s ．c e l l sc a n b e 目．o u p e di n t o t h ef o l l o w i n gf o u r c a t e 9 0 r i e s ：b a s i cc c l l s ，I ／Oc e l l s ，卸a l o gm a c r o e l e

12、m e n t sa l l dm a c r oe l c m e n t s ，i n c l u d i n gs R A M ，R O M w i t ha l lk i n d s o fs c a l e s ) ．C 卸d e c e a n d S y n o p s y s a r cu s e d i n c r e a t i n gl i b r a r y ．T h ee m p h a s i sj si m

13、 p m v i n gc r c a t i n gl i b m r yt e c l l I l o l o g y i n l a y o u tl i b r a r y ，s u c h a so p t i m i z i n gc e l lw i t h s 柚d 叩t i m j z i n gc e Uh e i g h t s ，f I l n h e 肌o r e ，o p t i m i z i n gm u