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1、電荷耦合器件(CCD)是一種性能獨(dú)特的光電轉(zhuǎn)換半導(dǎo)體器件,近年來(lái)在攝像、工業(yè)檢測(cè)等科技領(lǐng)域里得到了廣泛的應(yīng)用。將CCD技術(shù)應(yīng)用于位移等幾何量測(cè)量可以實(shí)現(xiàn)高精度、在線動(dòng)態(tài)檢測(cè)和非接觸測(cè)量等要求。 采用光學(xué)三角法結(jié)合計(jì)算機(jī)視覺(jué)系統(tǒng)測(cè)量位移的方法具有遠(yuǎn)距離、高速度、高精度、不受被測(cè)材料性質(zhì)的限制等特點(diǎn)。另外,采集后的實(shí)驗(yàn)圖像可通過(guò)計(jì)算機(jī)軟件進(jìn)行分析處理,靈活性強(qiáng)。該技術(shù)可應(yīng)用于位移、厚度及距離等幾何量的測(cè)量。 本文主要討論了基
2、于激光與CCD圖像系統(tǒng)檢測(cè)物體的小角度偏轉(zhuǎn)角及位移的技術(shù)。應(yīng)用光學(xué)三角法測(cè)量技術(shù),對(duì)激光斑點(diǎn)的位移進(jìn)行分析測(cè)量,通過(guò)建立激光位移與實(shí)際位移的理論關(guān)系,獲得了物體的實(shí)際位移和轉(zhuǎn)角。為提高測(cè)量精度,應(yīng)用數(shù)字相關(guān)法對(duì)激光光斑圖像進(jìn)行分析,得到較高精度的激光位移,為后續(xù)的實(shí)際位移和轉(zhuǎn)角測(cè)量奠定了基礎(chǔ)。文中對(duì)系統(tǒng)的誤差進(jìn)行了較為全面的分析,提出了保證測(cè)量精度的具體措施。最后通過(guò)對(duì)等強(qiáng)度懸臂梁的撓度和轉(zhuǎn)角測(cè)量,并與理論結(jié)果進(jìn)行比較,證實(shí)本實(shí)驗(yàn)測(cè)試系
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