晶圓預(yù)對準(zhǔn)技術(shù)研究.pdf

1、晶圓預(yù)對準(zhǔn)是半導(dǎo)體制造的重要環(huán)節(jié)之一，預(yù)對準(zhǔn)機(jī)用來檢測晶圓的偏心及缺口（或切邊）并實(shí)現(xiàn)單個晶圓的定位以及晶圓之間的一致性，對半導(dǎo)體制造精度的保證起到了重要作用。隨著晶圓尺寸的提高，對晶圓預(yù)對準(zhǔn)的精度要求也相應(yīng)提高，因此，有必要對晶圓預(yù)對準(zhǔn)的相關(guān)技術(shù)進(jìn)行系統(tǒng)研究。
　　本文主要工作如下:
　　(1)首先采用分段函數(shù)法對晶圓邊緣曲線進(jìn)行建模，再根據(jù)幾何關(guān)系分段建立晶圓邊緣數(shù)據(jù)采集模型。根據(jù)所采集到的晶圓邊緣數(shù)據(jù)分別采用不同算法計(jì)

2、算出晶圓的偏心及缺口的方向。
　　(2)在建立晶圓邊緣數(shù)據(jù)采集模型的基礎(chǔ)上，采用適當(dāng)?shù)乃惴▽A的偏心及缺口位置進(jìn)行計(jì)算，并將計(jì)算結(jié)果與設(shè)定的實(shí)際晶圓偏心及缺口位置進(jìn)行對比，得到計(jì)算誤差。對不同條件下的仿真結(jié)果進(jìn)行對比，研究晶圓預(yù)對準(zhǔn)過程中各參數(shù)對其精度的影響規(guī)律。
　　(3)根據(jù)誤差精度分析結(jié)果，利用誤差轉(zhuǎn)化的方法將預(yù)對準(zhǔn)機(jī)自身誤差轉(zhuǎn)化成預(yù)對準(zhǔn)機(jī)與機(jī)械手相對坐標(biāo)系誤差，從而實(shí)現(xiàn)預(yù)對準(zhǔn)機(jī)自身與相對坐標(biāo)系的綜合標(biāo)定。結(jié)合晶圓預(yù)