探針臺運動控制及晶圓定位對準(zhǔn)技術(shù)研究.pdf

1、探針臺是一種晶圓探針測試設(shè)備，探針測試在半導(dǎo)體器件制造流程具有重要的地位，通過探針測試，可及時發(fā)現(xiàn)晶圓中性能異常的晶粒，減少后續(xù)工序的加工耗費。目前晶圓直徑不斷增大，而晶粒卻越來越小，對晶圓測試設(shè)備的自動化程度提出了較高的要求，傳統(tǒng)的手動或半自動測試需要較多的人工參與，因而發(fā)展全自動探針臺是提高晶圓探針測試效率的重要手段。國內(nèi)的探針臺因為起步較晚，在自動化方面與國外存在較大差距。運動控制和晶圓自動定位對準(zhǔn)技術(shù)是提高探針測試自動化程度及測

2、試效率的關(guān)鍵技術(shù)，本課題針對探針測試的特點，對用于探針臺的運動控制卡和基于機器視覺的晶圓自動定位對準(zhǔn)技術(shù)做了研究。
　　大部分探針臺系統(tǒng)采用PC加運動控制卡的控制方案，本文根據(jù)探針臺的運動特點，提出了運動控制卡必須具有的功能，選用FPGA器件以及NIOS軟核處理器，設(shè)計插補、加減速控制、I/O濾波等運動控制算法；用Windriver和C++開發(fā)了上位機驅(qū)動程序和運動控制調(diào)用函數(shù)，設(shè)計了一款基于PCI總線的4軸運動控制卡，具有4軸線