基于PC的探針臺系統(tǒng)及視覺定位的研究.pdf

1、本文設(shè)計了基于PC的探針臺數(shù)控系統(tǒng)，該系統(tǒng)采用PC+電機控制卡+圖像采集卡的形式構(gòu)建。 本文提出了針對探針臺系統(tǒng)的數(shù)控軟件的設(shè)計方法，分析了其軟件的總體結(jié)構(gòu)。按照面向?qū)ο蟮某绦蛟O(shè)計方法設(shè)計了軟件的各功能單元模塊，完成了參數(shù)輸入、伺服電機運動控制、人機界面實時顯示、利用圖像模板匹配技術(shù)進行自動定位等功能。對測試過程中需要進行的數(shù)據(jù)處理過程進行了分析。在此基礎(chǔ)上開發(fā)出了基于PC的探針臺系統(tǒng)的控制軟件。 另一方面，針對晶片在測

2、試之前需要自動定位的問題，本文采用計算機視覺技術(shù)實現(xiàn)晶片的自動定位。自動定位的實現(xiàn)是基于圖像模板匹配技術(shù)。本文對圖像模板匹配的基本概念，實現(xiàn)原理和目前的圖像模板匹配技術(shù)進行了介紹，對目標圖像存在平移和旋轉(zhuǎn)的情況進行了研究和探討。本文討論了幾種基本的圖像模板匹配算法，包括互相關(guān)算法的改進算法；幅度排序的相關(guān)算法；同心圓環(huán)窗口的矩匹配算法，并對互相關(guān)算法的改進算法與同心圓環(huán)窗口的矩匹配算法進行了實驗驗證。實驗結(jié)果表明在成像質(zhì)量較好的情況下，