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文檔簡介
1、本論文分別應用有機化合物普魯士蘭、導電高分子聚苯胺和注氧隔離技術獲得的硅材料制備了三種電化學免疫生物傳感器,實現(xiàn)AFP的快速檢測。 本研究有助于發(fā)展簡單、快速以及實時檢測的生物分析方法,而且制備方法簡單,將注氧隔離形成的SOI硅片,用于超薄體表面敏感器件的設計和制作,并結(jié)合阻抗分析技術,制備了可檢測AFP的免疫傳感器。通過光刻、薄膜生長/沉積、蝕刻、接線和封裝等工藝,獲得自然氧層覆蓋下的超薄導電硅層,并用它制備了兩種類型的器件,兩種
2、器件對pH和離子濃度的阻抗響應均分布在不同的頻率范圍,因而離子濃度并不干擾器件對pH值的響應,使用氨基丙基三乙氧基硅烷可以把抗體固定到敏感器件的表面。利用阻抗技術檢測生物傳感器的表面修飾過程和分子間作用。表面電位的變化、修飾分子的介電特點和表面態(tài)都可能影響導電通道的電荷分布和導電性,研究表明,這種超薄體表面敏感器件有可能用于發(fā)展AFP檢測的微型化傳感器。特別是和傳統(tǒng)的半導體加工工藝和微電子集成電路工藝相結(jié)合,可以很容易實現(xiàn)器件的微型化和
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