半導體芯片測試自動物料傳送設備的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、自動物料傳送設備是半導體制造過程中的重要組成部分，該類設備目前基本被國外及臺灣的設備公司壟斷。隨著中國電子產品生產的快速增長，自主研發(fā)半導體芯片測試自動物料傳送設備具有極強的實用性和廣闊的市場前景。
　　 本文針對企業(yè)的實際需求，分析了半導體制造的自動物料傳送系統(tǒng)(AMHS，Automatic Material Handling System)的布局原理，確定了以自動引導小車(AGV，Automatic Guided Vehic

2、le)作為半導體芯片調度設備，以測試機臺作為半導體芯片測試設備的方案，實現(xiàn)了自動物料傳送設備的設計，并完成了其控制軟件的開發(fā)。
　　 針對半導體芯片測試自動物料傳送設備芯片托盤和測試機臺的參數(shù)，詳細分析了半導體芯片測試自動物料傳送設備機械結構的功能要求與特點，實現(xiàn)了自動引導小車(AGV)、吊籠、夾持機構、旋轉機構、直線機構等機械結構的設計。
　　 針對半導體芯片的數(shù)據(jù)對接，分析了半導體芯片托盤和測試設備的數(shù)據(jù)線對接結構，

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