2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、改良西門子法是多晶硅的主流生產(chǎn)工藝,其中原料氯硅烷中痕量硼、磷雜質(zhì)的去除較為關(guān)鍵。目前國內(nèi)主要通過多級精餾的分離方法除氯硅烷中痕量的硼、磷雜質(zhì),由于氯硅烷中痕量硼、磷雜質(zhì)的揮發(fā)度與氯硅烷接近,就不得不在多級精餾時加大回流比、減少采出量來保證質(zhì)量指標(biāo),以至于產(chǎn)品收率低且產(chǎn)品質(zhì)量不穩(wěn)定,而且用于除硼、磷的能耗和成本居高不下。
  針對該問題,本文在分析了引起該問題的原因和現(xiàn)有除硼、磷工藝的基礎(chǔ)上,首先運用Aspen plus軟件對氯硅

2、烷精制料中痕量硼、磷雜質(zhì)的分離工藝進(jìn)行模擬研究,找出最優(yōu)的工藝條件。初步探索絡(luò)合法和吸附法進(jìn)行高效除氯硅烷中痕量硼、磷雜質(zhì),找出了高效的絡(luò)合劑與吸附劑。本文主要的研究工作和結(jié)果如下:
 ?。?)設(shè)計模擬了精餾法除氯硅烷精制料中痕量硼、磷雜質(zhì)的工藝過程,對相關(guān)工藝參數(shù)(包括塔板數(shù)、回流比、進(jìn)料位置等)對工藝過程的影響做靈敏度分析,對相關(guān)工藝參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化,確定了最佳的工藝條件,通過模擬計算得最終產(chǎn)品中硼、磷雜質(zhì)均降到幾十個ppb,基本

3、可以滿足太陽能級原料氯硅烷的需求。
 ?。?)研究了絡(luò)合法除氯硅烷中痕量硼、磷雜質(zhì)的過程,結(jié)合硼、磷雜質(zhì)的絡(luò)合機(jī)理,尋找高效的絡(luò)合劑,發(fā)現(xiàn)三苯基氯甲烷與二苯基卡巴腙按質(zhì)量比為2:1時混合作為絡(luò)合劑絡(luò)合除氯硅烷中痕量硼、磷雜質(zhì)效果最好,可將氯硅烷中含有幾個ppm的硼、磷雜質(zhì)降低兩個數(shù)量級。
 ?。?)對吸附法除氯硅烷中痕量硼、磷雜質(zhì)進(jìn)行了探索性的研究,研究了吸附法除氯硅烷中痕量硼、磷雜質(zhì)的過程,結(jié)合硼、磷雜質(zhì)的吸附機(jī)理,尋找高

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