基于Color Filter的Rework流程優(yōu)化研究.pdf

1、薄膜晶體管液晶顯示器，是以液晶作為介質(zhì)，以薄膜晶體管和彩色過濾片為控制元器件的集大規(guī)模半導(dǎo)體集成電路技術(shù)和平板光源技術(shù)于一體的光電子產(chǎn)品。由彩色濾光片Color Filter、TFT面板、偏光板、模組部分組成，其中Color Filter是TFT_LCD的重要組成部分，也是其性能參數(shù)的重要決定因數(shù)。
　　Rework生產(chǎn)線是彩色過濾片CF各段制程產(chǎn)生的不良基板回收處理中心。SVA_FF5G新生產(chǎn)線建成后，在取樣階段，由于市場需求變

2、化，致使新產(chǎn)品功能變化。為滿足工藝要求，蝕刻藥液成分需要更換，從鹽酸換成硝酸。迫使 Rework不得不改造，即在原有基礎(chǔ)上提高蝕刻、剝離能力、清洗能力。在面臨工期短，藥液成分不確定，改造任務(wù)大，并且在不能影響現(xiàn)有生產(chǎn)能力的條件下。論文總結(jié)了Rework流程再造中關(guān)鍵環(huán)節(jié)、采用方法與采用技術(shù)，首先從改造前后藥液成分的變化著手，分析Etch及Strip藥液種類和使用溫度的變化對(duì)設(shè)備提出的更高要求。然后再由各單元對(duì)接觸藥液部分影響形成設(shè)備材質(zhì)

3、和部件的更換清單。由此分別對(duì)Etch、Strip、Clean模塊進(jìn)行針對(duì)性部件變更。再在現(xiàn)場大量流片觀測改造后玻璃基板良品率，優(yōu)化改造前后工藝參數(shù)的變化。最后則是對(duì)現(xiàn)場與控制室的通訊配置作了簡要說明。
　　項(xiàng)目改造實(shí)施后，由客戶的“投訴”，引出動(dòng)態(tài)項(xiàng)目管理。通過客戶反饋對(duì)Rework玻璃基板管理，藥液管理，環(huán)境管理，設(shè)備管理上的改進(jìn)。新的Rework生產(chǎn)線改造，大大降低了單片玻璃基板藥液單耗量，并使Rework良品率從50％上升到