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1、數(shù)模轉(zhuǎn)換器(digital-to-analog convertor,DAC)是連接在模擬IC與數(shù)字IC間的重要接口之一,是很多SOC芯片中不可或缺的一部分,本文設(shè)計(jì)的數(shù)模轉(zhuǎn)換器(DAC)是用于MEMS加速度計(jì)中,它是為了給系統(tǒng)提供一個(gè)穩(wěn)定的偏壓從而消除重力加速度對(duì)加速度計(jì)的影響,本課題是屬于國(guó)家十二五重大專項(xiàng),MEMS檢波器與地震數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)的子項(xiàng)目。系統(tǒng)對(duì)DAC的要求包括:分辨率為12bit,電源電壓為±5V,差分參考電壓為+
2、3.7V和-3.7V,微分非線性誤差(Differential non-linearity,DNL)小于0.25LSB,積分非線性誤差(Integral non-linearity,INL)小于2LSB,且要求DAC的噪聲小于-120dBV/H。所設(shè)計(jì)的DAC采用的是dual-ladder電阻分壓型結(jié)構(gòu),其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)為高6位粗分壓電阻陣列和低6位細(xì)分壓電阻陣列,這樣相比于普通的電阻串分壓型結(jié)構(gòu),可降低電阻匹配難度和版圖布局的難度。
3、 本研究為避免傳統(tǒng)電壓源結(jié)構(gòu)所產(chǎn)生的電壓對(duì)稱性差和不精準(zhǔn)的問(wèn)題,提出了自調(diào)整雙極性電壓源的結(jié)構(gòu)來(lái)產(chǎn)生3.7V和-3.7V的參考電壓,并且自調(diào)整電壓源中的反饋電阻即利用的電阻分壓陣列中的電阻,有效的減小了芯片面積。由于系統(tǒng)加速度計(jì)低噪聲的要求,詳細(xì)分析了DAC的輸出噪聲來(lái)源,并且從INL、噪聲以及功耗等方面進(jìn)行折中考慮,選取合適的DAC電阻陣列單位電阻值,并進(jìn)行兩次流片對(duì)比對(duì)噪聲進(jìn)行優(yōu)化。另外,由于DAC輸出端需要接一個(gè)160Ω的電阻和
4、一個(gè)330μF的大電容,為使得輸出能在300ms內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定,輸出緩沖器采用甲乙輸出級(jí)來(lái)減小輸出的穩(wěn)定時(shí)間。設(shè)計(jì)方法采用的是模擬集成電路設(shè)計(jì)的一般流程,根據(jù)指標(biāo)要求完成各個(gè)工藝角下的前后仿真,進(jìn)行了版圖設(shè)計(jì)、流片、測(cè)試等工作。此DAC在旺宏(MIXC)0.5umCMOS工藝中得以流片實(shí)現(xiàn),測(cè)試得到DAC的整體噪聲在3Hz時(shí)為-120dBV/H,而在15Hz時(shí)接近-140dBV/H,結(jié)果滿足系統(tǒng)指標(biāo)的要求,并且此DAC被成功的應(yīng)用到MEMS
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