基于DSP的VCM伺服控制系統(tǒng)的研制.pdf

1、隨著微機電系統(tǒng)(MEMS)技術與納米加工、測量技術的蓬勃發(fā)展,無論是科學研究,還是工業(yè)生產(chǎn)對物理實體幾何尺寸的加工和測量精度要求都發(fā)展到了微/納米級。因此對加工和測量環(huán)境也提出了更高的要求,通常需要恒溫、凈噪等條件。然而振動干擾無處不在,且很難根本消除,所以低頻微振動的抑制與隔離便成了微/納米加工、測量中極其重要的一個研究課題。在主動抗振的研究、應用領域,采用音圈電機的主動吸振器來吸收低頻微振動越來越受到人們的親睞。因其具有體積小、結構

2、簡單、線性力-行程、高速和高加速度等特性,在精密儀器儀表和微/納米加工測量領域有著廣泛地研究前景。
　　 本論文通過對市場現(xiàn)有隔振產(chǎn)品以及國內(nèi)外大量科研文獻的參考和研究,采用了雙層主動與被動相結合的混合振動隔離系統(tǒng)。在利用動力學模型和Matlab工具軟件分析、仿真了一維被動隔振系統(tǒng)、一維主動隔振系統(tǒng)、雙層被動隔振系統(tǒng),以及音圈電機用于主動吸振器的效果的基礎上,結合本實驗室原有恒溫箱和箱體內(nèi)的測量平臺的結構,設計了新的恒溫箱總成體

3、的隔振方案,提高了恒溫箱總成體的隔振適應性。
　　 文中針對這種混合隔振系統(tǒng),設計了Fuzzy-PID控制器,并利用Matlab工具軟件仿真、比較了不同振動干擾輸入時,該混合隔振系統(tǒng)與被動隔振系統(tǒng)的表現(xiàn)。仿真結果表明,該混合隔振系統(tǒng)對低頻微振動的抑制、隔離效果明顯優(yōu)于被動隔振系統(tǒng)。
　　 并以TI的DSPTMS320F2812為運算控制核心,設計了該混合隔振系統(tǒng)的控制硬件電路。在參考μC/OS-Ⅱ中的時鐘節(jié)拍和消息隊列思