基于FPGA的差動(dòng)像散離焦信號(hào)的檢測(cè)和處理技術(shù).pdf

1、離焦檢測(cè)技術(shù)作為單元技術(shù)之一，在制造二元衍射光學(xué)元件的激光直寫系統(tǒng)中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。本文以像散原理為理論基礎(chǔ)，結(jié)合差動(dòng)技術(shù)，對(duì)激光直寫系統(tǒng)工作中產(chǎn)生的離焦誤差信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)與處理，主要分為原理介紹，硬件設(shè)計(jì)和軟件設(shè)計(jì)三個(gè)方面：
　　 原理介紹部分詳細(xì)闡述了運(yùn)用差動(dòng)像散法檢測(cè)離焦信號(hào)的基本原理及基于此原理設(shè)計(jì)的差動(dòng)像散離焦信號(hào)檢測(cè)光學(xué)系統(tǒng)總體設(shè)計(jì)方案，選取了合適的光學(xué)元件并對(duì)其中的關(guān)鍵參數(shù)進(jìn)行了仿真、對(duì)比，甄選出合適的參數(shù)完成

2、設(shè)計(jì)。
　　 硬件部分以FPGA芯片為核心，集成了信號(hào)采集、預(yù)處理模塊，A-D(模數(shù))轉(zhuǎn)換模塊，數(shù)據(jù)傳輸模塊三大部分。信號(hào)采集、預(yù)處理模塊包括光電信號(hào)的轉(zhuǎn)換及電信號(hào)的流-壓轉(zhuǎn)換單元，低通濾波單元；A-D轉(zhuǎn)換和數(shù)據(jù)傳輸部分都在FPGA的控制下完成模擬信號(hào)到數(shù)字信號(hào)的轉(zhuǎn)換以及數(shù)字信號(hào)的傳輸工作。AD模數(shù)轉(zhuǎn)換器采用四通道同時(shí)采樣依次轉(zhuǎn)換工作方式的AD7865，既節(jié)省了空間又提高了數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換的精度；數(shù)據(jù)傳輸采用USB模式，提高了數(shù)據(jù)傳輸?shù)?/p>