抗高過載微慣性測量單元設(shè)計與分析.pdf

1、隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，MEMS（微機電系統(tǒng)）在民用和軍用領(lǐng)域都具有廣泛的應(yīng)用。在MEMS的軍事應(yīng)用中，慣性導(dǎo)航是一個重要的研究方向?；贛EMS技術(shù)的慣性導(dǎo)航系統(tǒng)具有的組合定位精度高、體積小、抗惡劣環(huán)境能力強、成本低等優(yōu)點，符合傳統(tǒng)彈藥制導(dǎo)化的發(fā)展需求。本文研究設(shè)計了一款適用于高過載沖擊應(yīng)用環(huán)境下的微慣性測量單元。
　　根據(jù)項目需求進行了微慣性測量單元的總體方案設(shè)計。按照設(shè)計方案，選擇國內(nèi)研究所自研的MEMS慣性傳感器并設(shè)計應(yīng)用電

2、路，實現(xiàn)慣性測量功能。依照慣性測量原理，選擇高強度金屬設(shè)計支撐結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)MEMS慣性傳感器測量軸的正交裝配，保證在高過載環(huán)境下結(jié)構(gòu)的可靠性。選擇聚氨酯發(fā)泡作為抗高過載保護的緩沖材料，保護高過載沖擊環(huán)境下的電子器件。分別對機械結(jié)構(gòu)以及灌封后的整體組件進行ANSYS有限元分析。仿真結(jié)果對微慣性測量單元的抗高過載防護設(shè)計提供了理論依據(jù)。選擇ARM微處理器并設(shè)計相應(yīng)的主控電路，實現(xiàn)微慣性測量單元的數(shù)據(jù)處理與通信功能。利用圖形編程軟件LabVie