MESO-SCALE級金屬結(jié)構(gòu)微細電解加工技術(shù)試驗研究.pdf

1、電解加工是利用金屬在電解液中發(fā)生陽極溶解的原理，將零件加工成形的，其材料的減少過程以離子的形式進行。由于電解加工具有無工具損耗、加工材料范圍廣、加工后零件表面無變形和再鑄層等優(yōu)點，成為航空航天，兵器制造等國防工業(yè)生產(chǎn)中的關(guān)鍵技術(shù)之一。特別是電解加工以離子的形式對材料進行去除的特點，使得其在微細加工中具有一定的發(fā)展?jié)摿?。研究和掌握微細電解加工的關(guān)鍵技術(shù)，研制開發(fā)微細電解加工系統(tǒng)，深入研究微細電解加工工藝，并結(jié)合制造業(yè)中大量存在的Meso-

2、scale(尺寸為幾微米至幾百微米)的微細結(jié)構(gòu)，將微細電解加工用于實際工業(yè)應(yīng)用研究，具有重要的現(xiàn)實意義。
　　結(jié)合研究人員多年來在電解加工技術(shù)領(lǐng)域的研究工作及國內(nèi)外微細電解加工技術(shù)的最新研究進展，本文重點在以下幾個方面進行了深入研究：
　　1、本文在深入分析微細電解加工技術(shù)原理和技術(shù)特點的基礎(chǔ)上，獨立研制了一套完整的數(shù)字化微細電解加工系統(tǒng)，包括機床機械本體、運動控制系統(tǒng)、過程檢測模塊和加工電源等部分，該系統(tǒng)能夠滿足微細電解加

3、工的要求。
　　2、根據(jù)法拉第定律、微細電解加工的電化學(xué)極化過程、外電場作用下的陽極極化曲線及特征等理論，利用納秒級脈沖電源，通過基礎(chǔ)工藝試驗研究了電解液成分、電源性質(zhì)、加工電壓、脈沖寬度、脈沖頻率、超聲頻率等工藝因素對Meso-scale級微細孔加工的溶解定域性、微細孔加工質(zhì)量、間隙分布、成型質(zhì)量等關(guān)鍵指標(biāo)的影響規(guī)律。
　　3、在電極/溶液界面雙層理論、微細電解加工的等效電路等理論分析的基礎(chǔ)上，通過基礎(chǔ)工藝試驗研究了加工電