納米級(jí)微定位平臺(tái)的設(shè)計(jì)和實(shí)驗(yàn)研究.pdf

1、精密定位技術(shù)是精密制造、精密測(cè)量、精密工程等微觀科學(xué)領(lǐng)域中的關(guān)鍵技術(shù)，微定位平臺(tái)是精密定位技術(shù)中的一項(xiàng)重要載體。本文以理論與實(shí)驗(yàn)相結(jié)合研究方法研究了一種壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的兩自由度微定位工作臺(tái)，并對(duì)微定位平臺(tái)的關(guān)鍵技術(shù)、偽剛體建模技術(shù)、壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器遲滯非線性及微定位平臺(tái)實(shí)驗(yàn)測(cè)試進(jìn)行研究，取得以下研究成果：
　　 設(shè)計(jì)了一種壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，柔性移動(dòng)副作為支承導(dǎo)軌的微定位平臺(tái)，借助有限元分析方法和“偽剛體模型”法，建立平臺(tái)的偽剛體模型，分

2、析了微定位平臺(tái)解耦特性。
　　 設(shè)計(jì)了一種新型的柔性移動(dòng)副，利用ANSYS有限元軟件對(duì)對(duì)兩種柔性移動(dòng)副的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)特性進(jìn)行了比較，給出了其靜態(tài)、動(dòng)態(tài)特性。
　　 根據(jù)“偽剛體模型”法思想對(duì)復(fù)合平行板移動(dòng)副和微定位平臺(tái)的支承機(jī)構(gòu)-雙復(fù)合平行板移動(dòng)副建立其偽剛體模型，舉例驗(yàn)證分析的準(zhǔn)確性。
　　 分析了壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)機(jī)理，對(duì)驅(qū)動(dòng)器的遲滯非線性特性進(jìn)行了研究，并且實(shí)驗(yàn)測(cè)試了壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的遲滯非線性特性，建立壓電