納米級(jí)微定位平臺(tái)的設(shè)計(jì)及實(shí)驗(yàn)研究.pdf_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

1、本文以納米級(jí)磨削微定位平臺(tái)的開(kāi)發(fā)為目標(biāo),以動(dòng)態(tài)設(shè)計(jì)理論、有限元方法、機(jī)械動(dòng)力學(xué)理論等為手段,較深入地研究了納米級(jí)三自由度微定位平臺(tái)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、動(dòng)力學(xué)建模以及有限元分析等關(guān)鍵技術(shù)問(wèn)題. ◆通過(guò)對(duì)四種二次曲線截面的柔性鉸鏈的理論計(jì)算和有限元分析,比較分析了它們的力學(xué)特性. ◆基于動(dòng)態(tài)設(shè)計(jì)理論,研制了一臺(tái)具有姿態(tài)調(diào)整能力的納米級(jí)磨削輔助微定位平臺(tái).該微定位平臺(tái)采用多壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器并聯(lián)直接驅(qū)動(dòng)方式,有效地提高了進(jìn)給方向上的靜、動(dòng)

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