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文檔簡介
1、該論文對微機電系統(tǒng)(MEMS)的概念、特點,微機械加工技術(shù)的種類、條件、步驟進行了介紹,分析了國內(nèi)外的測量測試方法,對測量表面形貌的各種方法的優(yōu)缺點進行了比較.采用掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡、原子力顯微鏡對多孔硅的表面進行了觀測,經(jīng)過比較,可以看出原子力顯微鏡是用于微觀形貌分析的更為有效的工具.采用雙管顯微鏡、臺階儀、基于離焦誤差檢測原理的UBM表面輪廓儀對腐蝕深度進行了測量,通過對它們的原理和實驗結(jié)果的分析,可以得出結(jié)論:光探針測
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