基于視覺測量的石英擺片幾何尺寸測量方法的研究.pdf

1、石英擺片是石英撓性加速度計的敏感核心元件，由于其形狀復(fù)雜、幾何尺寸精度和表面質(zhì)量要求較高，其加工質(zhì)量直接影響使用性能，而石英擺片的幾何參數(shù)又對石英撓性加速度計的工作性能有直接的影響，所以能夠準確測量石英擺片的幾何參數(shù)，對于提高石英加速度計的工作性能具有很重要的意義。目前，視覺測量技術(shù)在幾何量測量中也得到廣泛的應(yīng)用，而國內(nèi)對石英擺片幾何參數(shù)的測量大多還是接觸式測量方法，不僅精度難以滿足要求，而且容易造成擺片的損壞。針對這一情況，本文對石英

2、擺片進行非接觸測量的研究，提出了基于視覺測量的幾何參數(shù)測量方法。論文首先概述了國內(nèi)外石英擺片參數(shù)測量方面的發(fā)展現(xiàn)狀，闡述了計算機視覺檢測技術(shù)在幾何量測量上的發(fā)展狀況以及應(yīng)用，為系統(tǒng)的設(shè)計做好了準備。本文設(shè)計了基于視覺測量的CMOS圖像采集系統(tǒng)的石英擺片幾何尺寸測量的硬件系統(tǒng)，運用圖像處理技術(shù)對圖像采集系統(tǒng)采集的圖像進行圖像分析，計算得出需要的幾何尺寸。本課題研究的重點是石英擺片幾何尺寸測量的算法設(shè)計，綜合考慮各種傳統(tǒng)邊緣檢測算法，對空間