鐵電薄膜的溶膠凝膠法制備與結構研究.pdf

1、該論文以鐵電薄膜材料為研究對象,以制備成分均勻的鐵電薄膜為基礎,采用溶膠凝膠的方法,最終獲得高質量的鐵電薄膜為中心開展工作.通過改變薄膜的制備工藝條件,探索了采用溶膠凝膠工藝制備成分穩(wěn)定的鐵電薄膜的實驗途徑,研究了薄膜的結構和表觀形貌.Ba<,2>TiSi<,2>O<,8>晶體被認為是一種特殊的壓電體,它具有壓電性、熱釋電性和非線性光學特性.該文中采用溶膠凝膠的方法成功的制備了成分均勻,性能穩(wěn)定的BTS鐵電薄膜.并通過有效的手段對薄膜的

2、結構和形貌進行表征,利用原子力顯微鏡AFM觀察了薄膜的表面形貌,表明在薄膜中已經形成了鋇硅石相;同時討論了薄膜制備后期不同熱處理條件對結晶性能的影響,從而能夠獲得性能優(yōu)良的薄膜樣品.該文中采用溶膠凝膠過渡層的方法制備了Ba<,2>TiSi<,2>O<,8>鐵電薄膜.通過拉曼散射光譜的測試和表面形貌的觀察,說明溶膠凝膠層的存在很大程度的改善了薄膜的結晶度和晶粒形狀,為Ba<,2>TiSi<,2>O<,8>鐵電薄膜的制備進行了有價值的探索.

3、PbTiO<,3>是一種典型的鈣鈦礦型結構鐵電材料,通過鈣改性的鈦酸鉛[(Pb<,1-x>Ca<,x>)TiO<,3>,PCT(x)]材料具有良好的鐵電,壓電,熱釋電及光學特性,近年來國內外已開展了較多有關PCT陶瓷及薄膜的研究工作.該文中主要以醋酸鉛、硝酸鈣和鈦酸四丁酯為原料,采用溶膠凝膠方法制備了(Pb<,0.76>Ca<,0.24>)TiO<,3>鐵電薄膜.討論了采用管式爐和RTA兩種不同熱處理方式對薄膜結晶性能及表面形貌的影響.