BTO鐵電薄膜溶膠-凝膠制備工藝研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文采用溶膠-凝膠法(Sol-Gel)合成了Bi4Ti3O12(簡稱BTO)粉體，并在Pt(111)/Ti/SiO2/Si基片上制備了鑭摻雜鈦酸鉍（Bi4-xLaxTi3O12,X=0,0.25,0.5,0.75）鐵電薄膜。通過熱重-差熱分析(TG-DTA)、X射線衍射(XRD)、紅外光譜(IR)、掃描電子顯微鏡(SEM)、原子力顯微鏡(AFM)、透射電鏡(TEM)等技術手段對Sol-Gel法制備的BTO粉體和薄膜進行了表征。研究了晶化

2、溫度對粉體物相和形貌的影響，分析了熱處理工藝和化學成分對薄膜形貌的影響。
　　粉體制備工藝實驗表明，以Bi金屬為陽極，不銹鋼片為陰極，乙醇為溶劑通過電解法可獲得乙醇鉍，其最高濃度為33.88mmol/L（14.167g/L）。以乙醇鉍為鉍源，鈦酸四丁酯為鈦源，冰醋酸為催化劑，在60℃，空氣相對濕度35％條件下可獲得透明的Bi-Ti溶膠和凝膠。Bi-Ti凝膠粉體在400℃處理得到無定形粉體，600℃處理得到Bi4Ti3O12主物相同

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