應用于極紫外光刻光源的脈沖電源研究.pdf

1、極紫外光刻技術被認為是下一代最有前途的光刻技術之一。在其關鍵的EUV光源方面，DPPEUV光源由于其多方面的優(yōu)點受到國際上的廣泛關注。高功率脈沖電源是DPPEUV光源的能量來源，是光源的核心設備之一。本文根據DPPEUV光源實驗的需要，研究設計滿足一定要求的高功率脈沖電源，為DPPEUV光源的研究做實驗裝置上的準備。同時，該脈沖電源的研究對于脈沖功率技術在其他領域的應用也具有借鑒意義。
　　首先分析了基于毛細管放電Z箍縮方式的DP

2、PEUV光源的物理過程，計算了通過等離子體的峰值電流及等離子體的阻抗特性，從而明確了脈沖電源的性能指標及負載特性。并對脈沖電源的放電回路進行了仿真分析，為電源的設計提供了依據。
　　在設計前對脈沖電源的關鍵環(huán)節(jié)磁脈沖壓縮網絡進行了理論分析與電路計算。首先從磁芯磁化的角度闡述了磁開關的原理，進而對比了硬磁材料與軟磁磁料的磁性特點，為磁開關的磁芯選擇提供了依據；接下來分析了磁脈沖壓縮網絡的工作過程，通過電路計算推導出了磁脈沖壓縮網絡中

3、關鍵參數的計算公式。
　　在此基礎上設計了脈沖電源主電路的整體結構。其中，高壓直流充電環(huán)節(jié)采用交流調壓的充電方式；中間儲能脈沖形成環(huán)節(jié)由諧振倍壓電路及脈沖變壓器組成；采用三級磁脈沖壓縮網絡作為脈沖壓縮環(huán)節(jié)。對各環(huán)節(jié)電路進行了參數計算仿真，進行了關鍵器件的選擇、設計與實驗?；诖砰_關的等效模型對設計中采用的三級磁脈沖壓縮網絡進行了PSPICE仿真，得出了不同情況下磁脈沖壓縮的仿真波形，為實驗調試提供了參考依據。
　　最后采用新