主動(dòng)抗振技術(shù)研究——單點(diǎn)探測(cè)與PZT補(bǔ)償.pdf_第1頁(yè)
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1、光干涉測(cè)試是一種高精度的測(cè)試,極易受外界振動(dòng)影響,為解決光干涉測(cè)試中的振動(dòng)問(wèn)題,該文首先介紹了國(guó)內(nèi)外干涉儀抗振技術(shù)的發(fā)展情況,比較了幾種常用方案的優(yōu)缺點(diǎn),在大量實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ)上,本著工程化的目的,提出了以壓電陶瓷移相器(PZT)為補(bǔ)償元件的單點(diǎn)式相位探測(cè)抗振方案.即采用單個(gè)光電二極管實(shí)時(shí)測(cè)量干涉條紋相位并由PZT實(shí)時(shí)補(bǔ)償因振動(dòng)引起的干涉條紋的相位變化.文中詳細(xì)討論了用于單點(diǎn)式抗振方案的電路設(shè)計(jì)及DSP的程序編制,并對(duì)系統(tǒng)頻響的瓶頸--PZT移

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