引入DSA的新型硅片缺陷檢測系統(tǒng)的建立和應用.pdf

1、隨著半導體器件幾何尺寸的不斷縮小，在晶圓生產(chǎn)中對缺陷的快速檢測與區(qū)分就變得尤為重要。為了更好地監(jiān)測高端制成中所產(chǎn)生的系統(tǒng)性缺陷，提高對生產(chǎn)設(shè)備及工藝的監(jiān)測，我們在生產(chǎn)中引進了新型缺陷監(jiān)測分析系統(tǒng)--DSA系統(tǒng)。本論文對當前生產(chǎn)工藝中使用的缺陷監(jiān)測系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)進行了深入分析和研究，在此基礎(chǔ)上，完成了DSA系統(tǒng)與當前檢測系統(tǒng)的整合并研究了該系統(tǒng)在生產(chǎn)中的應用。 在論文實踐中我們首先對當前本公司的測試系統(tǒng)結(jié)構(gòu)進行分析，并根據(jù)分析結(jié)果決定

2、通過第三方軟件的ftp架構(gòu)，連接DSA系統(tǒng)和當前缺陷數(shù)據(jù)庫。為此進行了以下工作： 建立ftp結(jié)構(gòu)，互聯(lián)DDMS和DSA數(shù)據(jù)庫；建立DSA與工程師自動報警的電子信息結(jié)構(gòu)；建立DSA分析數(shù)據(jù)庫：建立DSA與MES互聯(lián)結(jié)構(gòu)；系統(tǒng)架構(gòu)穩(wěn)定性測試。 通過這樣的整合，就形成了一套新的缺陷檢測系統(tǒng)，接下來我們就研究使用這套新系統(tǒng)對生產(chǎn)中缺陷進行監(jiān)測。 首先，我們利用DSA系統(tǒng)增加對生產(chǎn)中光刻掩模板repeaterdefect(

3、反復性缺陷)的監(jiān)測，試驗表明：DSA系統(tǒng)能夠及時、準確地識別出repeaterdefect，及時采取措施。通過DSA系統(tǒng)使用前后的對比，我們發(fā)現(xiàn)，在使用DSA系統(tǒng)后repeaterdefectimpactLot的數(shù)量降低了75﹪以上。 其次，通過對系統(tǒng)性缺陷特征信號在DSA中的設(shè)定，我們可以快速的識別生產(chǎn)中出現(xiàn)的重要的系統(tǒng)性缺陷，及時的發(fā)現(xiàn)并制止生產(chǎn)中的異常情況，從而提高生產(chǎn)中產(chǎn)品良率的控制。從試驗的結(jié)果來看，使用DSA系統(tǒng)監(jiān)測

4、系統(tǒng)性缺陷無論在效率、準確性還是在缺陷的發(fā)現(xiàn)幾率上都比人為地監(jiān)測有著倍數(shù)的增長。 最后，通過對DSA分析系統(tǒng)功能的巧妙利用，我們可以及時的發(fā)現(xiàn)生產(chǎn)中隱藏的問題，提早對其進行分析和改進，進而提高生產(chǎn)中的良率。 初步試驗表明DSA系統(tǒng)已經(jīng)被成功地引進晶圓檢測系統(tǒng)，該系統(tǒng)提高了對生產(chǎn)制造過程中出現(xiàn)的各種工藝缺陷、光刻掩模缺陷以及因設(shè)備異常而產(chǎn)生的缺陷的監(jiān)測與控制能力，起到了快速發(fā)現(xiàn)并分析缺陷、輔助改善工藝制程以及提升良率的作用