CH-,4--H-,2-系統(tǒng)電子助進熱絲化學氣相沉積動力學過程研究.pdf

1、河北大學碩士學位論文CH/H系統(tǒng)電子助進熱絲化學氣相沉積動力學過程研究姓名：陳俊英申請學位級別：碩士專業(yè)：光學指導教師：董麗芳2000.6.1A b s t r a c tA b s t r a c tD y n a m i cp r o c e s so f e l e c t r o na s s i s t e dc h e m i c a lv a p o rd e p o s i t i o n ( E A C V D ) o

2、 fd i a m o n d h a s b e e n s t u d i e df o r t h ef i r s tt i m eb y c o n s i d e r i n gH y d r o g e n a n d M e t h a n em l x 2 u 。。a ss o u r c eg a s e s T h em o d e lo f t h eg a sd y n a m i c s i si n i t

3、 h l l ys u g g e s t e db yu s i n gM o n t e C a r l o m e t h o d ．T h er e s u l t sw e h a v e o b t a i n e dh e r es u g g e s tt h a t ：T h e r ei sa l lo p t i m u m c o n d i t i o no f F J N v a l u e ( e l e

4、c t r o n f i e l dt og a sn u m b e r d e n s i t y r a t i oi nu n i t s o fT d = 1 0 。1 7V c m 2 ) f o r o b t a i n i n g m a x i m u me l e c t r o n i m p a c t h y d r o g e nd i s s o c i a t i o n ．T h em e a n

5、e l e c t r o ne n e r g y i st h ef u n c t i o n o f E ／N ．T o o h i g h E ／Nv a l u ei s n o ta p p r o p r i a t et od i a m o n df i l mg r o w t h ．T h es p e c i e sC H 3 ，C H 2 + ，C I Te t c ．o fe l e c t r o ni

6、m p a c tC H 4 a r et h em a i ns p e c i e sf o rd i a m o n dg r o w t h ．T h ed r i f tv e l o c i t yo f e l e c t r o ns w a r mi nH 2a n dC H 4 i sc o m p 州a n d a g r e ew e l lw i t he x p e r i m e n t a ld a t

7、a ．T h e s er e s u l t sh a v ei m p o r t a n t r e f e r e n c ev a l u ef o rc o n t r o l l i n ge x p e r i r a e n t ac o n d i t i o nt os y n t h e s i z eh i 曲q u a l i t yd i a m o n d d u r i n gE A C V D p r

8、 o c e s sa n df o rt h er e s e a r c h o f e l e c t r o ns w a r m m o t i o n i nD C e l e c t r o n i cf i e l dK e y w o r d s M o n t e C a r l oM e t h o d C h e m i c a l V a p o r D e p o s i t i o n d r i f tv