面向精密控制的伺服驅(qū)動器設(shè)計與試驗研究.pdf

1、在現(xiàn)代半導(dǎo)體微細(xì)精密加工及精密測量等設(shè)備中，工作臺通常采用主從式結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)長短行程與粗微復(fù)合運動，其長行程運動由直線電機實現(xiàn)，而短行程則由精密平面電機實現(xiàn)。精密平面電機是一種在平面上移動的直接驅(qū)動電機，具有高頻響、高精度特點，其優(yōu)勢在于實現(xiàn)精密而高速的往復(fù)運動，主要應(yīng)用于平面精密定位加工裝置中的微動平臺，因而對驅(qū)動器性能提出嚴(yán)格要求。目前，開發(fā)研制高頻響、高精度的平面電機驅(qū)動器已經(jīng)成為精密加工設(shè)備的研究方向之一。
　　 課題針對

2、微動平臺精密平面電機電流驅(qū)動特點及其對功率驅(qū)動器高線性度要求，對比功率放大數(shù)字與模擬兩種實現(xiàn)方式的特點，采用線性模擬功率放大方式，應(yīng)用大電流功率運算放大器OPA541作為功率輸出器件，設(shè)計功率驅(qū)動電路，并通過電流負(fù)反饋及PI校正電路實現(xiàn)電流穩(wěn)定輸出。論文分析系統(tǒng)模型，建立系統(tǒng)傳遞函數(shù)，從理論上對電路設(shè)計的可行性與合理性進(jìn)行分析與仿真，并通過試驗板制作及平臺搭建，設(shè)計驅(qū)動器直流線性度、頻率響應(yīng)、交流線性度等試驗，對實驗結(jié)果進(jìn)行分析，驗證設(shè)