貼片機(jī)視覺(jué)系統(tǒng)校正技術(shù)研究.pdf

1、高精度貼片機(jī)是電子生產(chǎn)工業(yè)的核心設(shè)備，是一個(gè)國(guó)家現(xiàn)代科技實(shí)力的標(biāo)志。高精度貼片機(jī)結(jié)構(gòu)復(fù)雜，涉及電子、機(jī)械、軟件設(shè)計(jì)、光學(xué)等多個(gè)學(xué)科。其中貼片機(jī)的視覺(jué)系統(tǒng)是保障設(shè)備精度的核心部分。為提高貼片機(jī)視覺(jué)系統(tǒng)的測(cè)量精度，本文將介紹貼片機(jī)視覺(jué)系統(tǒng)校正的理論和方案。通過(guò)對(duì)視覺(jué)系統(tǒng)的補(bǔ)償，使貼片機(jī)的控制精度更高從而滿足新一代IC芯片的貼裝要求。本文圍繞貼片機(jī)視覺(jué)系統(tǒng)校正技術(shù)展開(kāi)，主要研究?jī)?nèi)容為：
　?。?）確定貼片機(jī)視覺(jué)系統(tǒng)校正所需要的參數(shù)，包括

2、視覺(jué)系統(tǒng)的內(nèi)部參數(shù)和視覺(jué)系統(tǒng)在貼片機(jī)上的機(jī)械參數(shù)。其中內(nèi)部參數(shù)影響攝像機(jī)成像過(guò)程使圖像中的像素點(diǎn)位置關(guān)系與實(shí)際點(diǎn)存在偏差，機(jī)械參數(shù)指的是視覺(jué)系統(tǒng)的安裝誤差,其導(dǎo)致計(jì)算得到的結(jié)果存在偏移量。為提高貼片機(jī)的生產(chǎn)精度需要獲得這兩部分參數(shù)。
　?。?）貼片機(jī)視覺(jué)系統(tǒng)的內(nèi)部參數(shù)可以由攝像機(jī)標(biāo)定技術(shù)獲得。本文分析攝像機(jī)的線性和非線性模型得到校正攝像機(jī)所需要的參數(shù)。然后在 Tsai兩步法和張正友攝像機(jī)標(biāo)定算法的基礎(chǔ)上提出優(yōu)化方法。通過(guò)解決非線性

3、最優(yōu)化問(wèn)題獲得攝像機(jī)參數(shù)的精確解。
　?。?）圓形特征點(diǎn)檢測(cè)定位技術(shù)是一種圖像處理技術(shù)，其目的是為實(shí)現(xiàn)提取視覺(jué)系統(tǒng)機(jī)械參數(shù)提供位置基準(zhǔn)。特征點(diǎn)檢測(cè)技術(shù)的一般流程為邊緣檢測(cè)， Hough變換，亞像素邊緣處理，最小二乘邊緣擬合最終獲得特征點(diǎn)的精確坐標(biāo)。對(duì)于邊緣檢測(cè)本文比較基于邊緣追蹤和梯度檢測(cè)兩種邊緣檢測(cè)技術(shù)。在 Hough變換的原理下提出 RHT改進(jìn)技術(shù)，提高算法速度。亞像素邊緣處理分別比較了基于插值、擬合、灰度矩多種實(shí)現(xiàn)方法，從而