新川SDW25型引線鍵合機(jī)微夾鉗問題研究.pdf

1、全自動(dòng)引線鍵合機(jī)是微電子集成電路制造業(yè)的關(guān)鍵設(shè)備之一，隨著現(xiàn)今科學(xué)技術(shù)和社會(huì)經(jīng)濟(jì)的高速發(fā)展，全自動(dòng)引線鍵合機(jī)的速度也越來(lái)越快，精度也越來(lái)越高，產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率同時(shí)也得到了大幅的提高。
　　本課題來(lái)源于樂山-菲尼克斯半導(dǎo)體有限公司，研究的主要目的是為了改進(jìn)日本新川SDW25型引線鍵合機(jī)在引線鍵合中頻繁斷線中斷的問題，以提高生產(chǎn)效率和降低勞動(dòng)力強(qiáng)度。
　　首先，介紹了全自動(dòng)引線鍵合機(jī)的技術(shù)現(xiàn)狀、發(fā)展趨勢(shì)、工作原理和全自動(dòng)引線鍵

2、合機(jī)中熱壓力超聲鍵合的鍵合工藝，并對(duì)要研究的新川SDW25型引線鍵合機(jī)進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)化。
　　其次，對(duì)新川SDW25型引線鍵合機(jī)的全自動(dòng)送絲系統(tǒng)進(jìn)行了受力分析，并對(duì)設(shè)備中關(guān)鍵部件—電磁線圈微夾鉗進(jìn)行分析，根據(jù)結(jié)果說(shuō)明了電磁線圈微夾鉗是造成設(shè)備斷線的關(guān)鍵。
　　再者，根據(jù)近年來(lái)運(yùn)用的比較多的壓電材料，建立了壓電陶瓷微夾鉗雙晶片橫梁結(jié)構(gòu)的輸入和輸出模型，通過建立數(shù)學(xué)模型，確定了壓電陶瓷微夾鉗的實(shí)現(xiàn)方法。并依據(jù)原電磁線圈微夾鉗的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)