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文檔簡介
1、全自動引線鍵合機是微電子集成電路制造業(yè)的關(guān)鍵設(shè)備之一,隨著現(xiàn)今科學技術(shù)和社會經(jīng)濟的高速發(fā)展,全自動引線鍵合機的速度也越來越快,精度也越來越高,產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率同時也得到了大幅的提高。
本課題來源于樂山-菲尼克斯半導體有限公司,研究的主要目的是為了改進日本新川SDW25型引線鍵合機在引線鍵合中頻繁斷線中斷的問題,以提高生產(chǎn)效率和降低勞動力強度。
首先,介紹了全自動引線鍵合機的技術(shù)現(xiàn)狀、發(fā)展趨勢、工作原理和全自動引線鍵
2、合機中熱壓力超聲鍵合的鍵合工藝,并對要研究的新川SDW25型引線鍵合機進行標準化。
其次,對新川SDW25型引線鍵合機的全自動送絲系統(tǒng)進行了受力分析,并對設(shè)備中關(guān)鍵部件—電磁線圈微夾鉗進行分析,根據(jù)結(jié)果說明了電磁線圈微夾鉗是造成設(shè)備斷線的關(guān)鍵。
再者,根據(jù)近年來運用的比較多的壓電材料,建立了壓電陶瓷微夾鉗雙晶片橫梁結(jié)構(gòu)的輸入和輸出模型,通過建立數(shù)學模型,確定了壓電陶瓷微夾鉗的實現(xiàn)方法。并依據(jù)原電磁線圈微夾鉗的結(jié)構(gòu)設(shè)計
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