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1、Y95133l；飯旦大學(xué)碩士學(xué)位論文(專業(yè)學(xué)位)學(xué)校代碼：10246學(xué)號(hào)：043021141Polycide與Salicide在Flash制程中的比較院系(所)；信息科學(xué)與工程學(xué)院專姓業(yè)：名：電子與通信工程陳清指導(dǎo)教師；權(quán)五云副教授吳佳特經(jīng)理完成日期：2005年lO月18日復(fù)旦大掌研究生論文SalicideProcessApplicationinFlashTechnologyandcomparisonwithPolycideProces
2、sAbstractFlashastheoverallproductionofEPROMandEEPROMhadgotangoodbalancebetweencostandfunctionAlsobecauseofitshighspeedwhichcancomparetoDRAM，F(xiàn)lashhadbecomeoneofthemostincreasingsemiconductorproductionrecentlyDueto1tsflexi
3、bleoperation，andthepossibihtyofhighdensity，F(xiàn)lashtechnologycanbewidelyapplledinmanyfieldssuchasPC，telecomandwirelesstechnologyetcThispaperw111getanoverallcomparisonbetweenPolycidetechnologyandSalicldetechnology，includingt
4、otalmasks，peripheraldevice，processmargin，cellarrayetcbasedoncurrentNORFlashprocessflowAndalsodetailinformationhadbeenprovidedAlsothemanu【facturepossibilityhadbeend1scussedKeyWords：Flash，Polycide，Salicide，ProcessFlowChine
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