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1、振動(dòng)是掃描探針顯微術(shù)中的重要研究課題.本文圍繞掃描探針顯微鏡(SPM)對(duì)外界振動(dòng)的要求、外界振動(dòng)對(duì)SPM工作表現(xiàn)的影響、振動(dòng)的補(bǔ)償方案、利用SPM原理進(jìn)行微振動(dòng)測(cè)量等方面展開(kāi)理論與實(shí)驗(yàn)研究.主要工作包括:1、對(duì)SPM的關(guān)鍵結(jié)構(gòu),針尖-樣品副,進(jìn)行理論分析.針對(duì)應(yīng)用廣泛的懸臂梁型SPM,建立其靜態(tài)與動(dòng)態(tài)力學(xué)模型.2、構(gòu)建SPM鏡體振動(dòng)測(cè)量系統(tǒng),采用激光測(cè)振系統(tǒng),以BK振動(dòng)臺(tái)和AWG2021任意波形發(fā)生器構(gòu)成激振系統(tǒng).對(duì)SPM進(jìn)行振動(dòng)響應(yīng)分
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