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文檔簡介
1、振動是掃描探針顯微術(shù)中的重要研究課題.本文圍繞掃描探針顯微鏡(SPM)對外界振動的要求、外界振動對SPM工作表現(xiàn)的影響、振動的補償方案、利用SPM原理進行微振動測量等方面展開理論與實驗研究.主要工作包括:1、對SPM的關(guān)鍵結(jié)構(gòu),針尖-樣品副,進行理論分析.針對應用廣泛的懸臂梁型SPM,建立其靜態(tài)與動態(tài)力學模型.2、構(gòu)建SPM鏡體振動測量系統(tǒng),采用激光測振系統(tǒng),以BK振動臺和AWG2021任意波形發(fā)生器構(gòu)成激振系統(tǒng).對SPM進行振動響應分
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