深亞微米單元工藝參數(shù)提取和建模技術(shù)研究.pdf

1、深亞微米工藝條件下的單元工藝參數(shù)提取和建模是一個(gè)極其復(fù)雜的過(guò)程,開(kāi)展這方面的研究工作具有重要的學(xué)術(shù)意義和很高的實(shí)用價(jià)值.該文給出了深亞微米工藝條件下單元工藝參數(shù)提取和建模的完整流程,該流程能快速精確地完成單元工藝參數(shù)提取和建模.文中提出的激勵(lì)波形約簡(jiǎn)算法、輸入信號(hào)驅(qū)動(dòng)算法、測(cè)試點(diǎn)動(dòng)態(tài)插入算法和結(jié)果表優(yōu)化壓縮算法等,達(dá)到了國(guó)際同類研究的先進(jìn)水平.該文實(shí)現(xiàn)了單元工藝參數(shù)提取的激勵(lì)波形生成算法,該算法在分析單元函數(shù)功能的基礎(chǔ)上,通過(guò)借鑒多維路

2、徑敏化算法,從邏輯上得到參數(shù)提取的激勵(lì)波形.對(duì)于單元引腳較多的情況,算法通過(guò)分析電路中間節(jié)點(diǎn)的充放電狀態(tài),提出了激勵(lì)波形約簡(jiǎn)算法,通過(guò)激勵(lì)波形精簡(jiǎn),大大地加快了工藝參數(shù)提取過(guò)程.論文研究了深亞微米工藝下的格點(diǎn)偏離現(xiàn)象,解決了深亞微米工藝條件下的輸入信號(hào)定位問(wèn)題,提出的輸入信號(hào)驅(qū)動(dòng)算法能快速精確地得到與實(shí)際信號(hào)一致的輸入激勵(lì)信號(hào),很好地提高了工藝庫(kù)參數(shù)的精度.在分析深亞微米工藝下器件模型的基礎(chǔ)上,文章推導(dǎo)了單元工作曲面范圍的計(jì)算公式,給出

3、了參數(shù)提取測(cè)試點(diǎn)的選擇算法.通過(guò)計(jì)算單元在各測(cè)試狀態(tài)下的最大、最小輸出負(fù)載,輸入信號(hào)的最大、最小斜率,算法能精確計(jì)算單元的工作曲面范圍;通過(guò)參數(shù)測(cè)試點(diǎn)的動(dòng)態(tài)插入,算法能獲得最佳的參數(shù)測(cè)試點(diǎn),最大程度地表征整個(gè)參數(shù)曲面空間.對(duì)于深亞微米工藝下參數(shù)提取的冗余測(cè)試現(xiàn)象,文中給出了參數(shù)表的優(yōu)化壓縮算法,其結(jié)果表能精確表征整個(gè)參數(shù)曲面空間并足夠簡(jiǎn)練.文章最后討論了單元的信號(hào)完整性問(wèn)題.論文研究了IR Drop對(duì)單元時(shí)序參數(shù)的影響,給出了相應(yīng)的表示