兩相混合式步進(jìn)電機(jī)位置伺服系統(tǒng)的研究.pdf

1、步進(jìn)電機(jī)是半導(dǎo)體封裝設(shè)備中廣泛使用的執(zhí)行元件，在大多數(shù)情況下步進(jìn)電機(jī)采用開環(huán)控制的方式運(yùn)行，但是開環(huán)條件下并沒有充分發(fā)揮出來步進(jìn)電機(jī)的性能。隨著半導(dǎo)體封裝行業(yè)的發(fā)展，要求其執(zhí)行器的速度越來越快，精度越來越高，步進(jìn)電機(jī)已經(jīng)難以滿足要求了?，F(xiàn)有的基于永磁同步電機(jī)的伺服電機(jī)系統(tǒng)，性能優(yōu)良，工作穩(wěn)定，可以被用來取代步進(jìn)電機(jī)，但是其缺點(diǎn)是成本高，難以大量使用。
　　本課題研究的目的是，在不大幅增加成本的前提下，采用閉環(huán)控制兩相混合式步進(jìn)電機(jī)

2、的方法，在保持現(xiàn)有精度的前提下，提高步進(jìn)電機(jī)帶動純慣性負(fù)載時的點(diǎn)對點(diǎn)運(yùn)動的速度，實(shí)現(xiàn)高性能價格比的位置伺服系統(tǒng)。
　　本文采用理論分析和實(shí)驗(yàn)相結(jié)合的方法，實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了兩相混合式步進(jìn)電機(jī)的數(shù)學(xué)模型，并定性分析了在高轉(zhuǎn)速條件下兩相混合式步進(jìn)電機(jī)數(shù)學(xué)模型的變化情況。除了選擇合適的控制算法提高速度外，本文還針對半導(dǎo)體封裝設(shè)備的實(shí)際情況，分析了影響在這類設(shè)備中使用的步進(jìn)電機(jī)定位精度的主要因素，并提出了改進(jìn)的辦法。
　　最終以飛利浦公司生