微型電液動力泵結構與工藝優(yōu)化的實驗研究.pdf

1、隨著電子元件的越來越小型化，電子技術的不斷發(fā)展和芯片集成度的不斷提高，導致電子器件單位面積上的熱流密度不斷增加。目前高熱流器件的熱流密度已達106W/m2的量級，將來會達到107W/m2的量級。傳統(tǒng)的風冷技術已經(jīng)不能滿足高熱流電子器件的散熱要求，液冷技術成為高熱流電子器件的必然選擇。液體驅動泵是液冷技術的關鍵部件，但其可靠性一直是制約液冷技術在航空航天等科學領域廣泛應用的主要因素，因此研制一種無運動部件的新型液體驅動泵一直是航空航天高熱

2、流電子器件冷卻的迫切要求。電液動力泵是一種無運動部件的新型液體驅動泵，在航空航天領域有重要的應用前景。 本文旨在探索電液動力泵的優(yōu)化結構參數(shù)與加工工藝。提出了電液動力泵的電極結構及參數(shù)：90對平板型銅電極，電極寬度為40μm，長度15mm，電極間距50μm，相鄰電極對之間的距離為100μm，設計了兩種流道高度100μm和200μm。對腐蝕方法和剝離方法兩種電極制作方法進行了對比，選擇了剝離方法制作電極，實現(xiàn)了電液動力泵的制作和封

3、裝。選擇了HFE7100為實驗所用的液體，同時選用無水乙醇進行參考對比。 為了提高實驗液的純度，避免液體中存在的雜質對電極及實驗的影響，在原來實驗的基礎上增加了實驗液提純的環(huán)節(jié)。對電液動力泵的性能進行了靜壓實驗，并進行了電極的重復性實驗。實驗結果表明：電液動力泵產(chǎn)生的壓頭隨電壓變化的曲線近似服從二次方的關系。同等條件下100μm流道高度比200μm流道高度產(chǎn)生的壓頭大，產(chǎn)生的電流小。對于HFE7100，當施加81V電壓時，流道高