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1、八大要素讓你讀透八大要素讓你讀透LED芯片芯片.doc八大要素讓你讀透LED芯片.doc八大要素讓你讀透LED芯片1、LED芯片的制造流程是怎樣的?LED芯片制造主要是為了制造有效可靠的低歐姆接觸電極,并能滿足可接觸材料之間最小的壓降及提供焊線的壓墊,同時(shí)盡可能多地出光。渡膜工藝一般用真空蒸鍍方法,其主要在1.3310?4Pa高真空下,用電阻加熱或電子束轟擊加熱方法使材料熔化,并在低氣壓下變成金屬蒸氣沉積在半導(dǎo)體材料表面。一般所用的P型
2、接觸金屬包括AuBe、AuZn等合金,N面的接觸金屬常采用AuGeNi合金。鍍膜后形成的合金層還需要通過光刻工藝將發(fā)光區(qū)盡可能多地露出來,使留下來的合金層能滿足有效可靠的低歐姆接觸電極及焊線壓墊的要求。光刻工序結(jié)束后還要通過合金化過程,合金化通常是在H2或N2的保護(hù)下進(jìn)行。合金化的時(shí)間和溫度通常是根據(jù)半導(dǎo)體材料特性與合金爐形式等因素決定。當(dāng)然若是藍(lán)綠等芯片電極工藝還要復(fù)雜,需增加鈍化膜生長、等離子刻蝕工藝等。2、LED芯片制造工序中,哪
3、些工序?qū)ζ涔怆娦阅苡休^重要的影響?一般來說,LED外延生產(chǎn)完成之后她的主要電性能已定型,芯片制造不對(duì)其產(chǎn)甞核本性改變,但在鍍膜、合金化過程中不芯片的使用電流實(shí)際上與流過芯片的電流密度有關(guān),芯片小使用電流小,芯片大使用電流大,它們的單位電流密度基本差不多。如果10mil芯片的使用電流是20mA的話,那么40mil芯片理論上使用電流可提高16倍,即320mA。但考慮到散熱是大電流下的主要問題,所以它的發(fā)光效率比小電流低。另一方面,由于面積增
4、大,芯片的體電阻會(huì)降低,所以正向?qū)妷簳?huì)有所下降。4、LED大功率芯片一般指多大面積的芯片?為什么?用于白光的LED大功率芯片一般在市場上可以看到的都在40mil左右,所謂的大功率芯片的使用功率一般是指電功率在1W以上。由于量子效率一般小于20%大部分電能會(huì)轉(zhuǎn)換成熱能,所以大功率芯片的散熱很重要,要求芯片有較大的面積。5、制造GaN外延材料的芯片工藝和加工設(shè)備與GaP、GaAs、InGaAlP相比有哪些不同的要求?為什么?普通的LED
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