0.35μm增強型13.5v高壓工藝平臺研發(fā)與優(yōu)化

1、●2 ．2 ．2 橫向擴散M o s ( L D M O S ) ?．．??????????????1 12 ．2 ．3 雙擴散M o S F E T ( D D D ) ????????????????．．n第三章增強型高壓器件的工藝建立及其優(yōu)化??????????．1 33 ．1 相關生產(chǎn)制程的介紹????，??????????????1 33 ．2 1 3 ．5 V 高壓工藝流程整合與相關模塊建立和優(yōu)化??????????2 33

2、 ．2 ．1 硅片的選擇????????????????????．2 43 ．2 ．2 初始對準層與阱區(qū)建立?????????????????2 43 ．2 ．3 硅的局部氧化隔離層的建立與優(yōu)化?????????????．．2 63 ．2 ．5 柵極工藝優(yōu)化與P I P 制程建立???????????????3 13 ．2 ．6 柵側墻( s p a c e r ) 工藝優(yōu)化?一??????????????3 53 ．2 ．7 接觸刻蝕

3、工藝模塊優(yōu)化?．．：?．?????????????．．3 73 ．2 ．8 金屬層和鈍化層模塊?????????????????．．4 0第四章相關器件的構成和可靠性?????????????．．4 24 ．1 高壓1 3 ．5 V 器件?????．‘j ???：??????????．．4 24 ．2 低壓3 ．3 V 器件????????????????????4 94 ．3 可靠性??????????????????????．5 6

4、4 ．3 ．1 可靠性類型???????????????????．．5 64 ．3 ．2 新工藝平臺可靠性結果????????????????．5 7第五章結論???????????????????．．6 3參考文獻????????????????????．．6 5致謝??????????????????????6 6————————————————————————————————————————————————————————————

5、————————————————————————————————————————————一A b s t r a c tW i t ht h er a p i dd e V e l o p m e n to fV e r y —l a r g e —s c a l e —i n t e g r a t e d —c i r c u i t s( V L S I ) ， i t s i n t e g r i t y d e n s i

6、t y i s i n c r e a s i n g a n dn e w r e q u i r e m e n t s a r ed e m a n d e d f o r d e s ig n i n g a n dp r o c e s s ．T h i st h e s i sd e s c r i b et h a tC o m p a n ye s t a b l i s h e dn e w e n h a n c e

7、 d1 3 ．5V H Vp r o c e s sa t O ．3 5p mp l a t f o r mt o g e t h e rw i t hw o r l d w i d ef a m o u s d e s i g nh o u s ei n o r d e r t 0 m a i n t a i n it s o w n a d V a n t a g e s i n t h e h i g h l y c o m p

8、e t i t i v es e m i c o n d u c t o rm a r k e t i n g ． A l a r g e n u m b e r o fp r o c e s s m o d u l e sh a v e b e e no p t i m i z a t e dd u r i n gd e v e l o p m e n t ．O n eo ft h em o s ti m p o r t a n t

9、m o d u l e i m p r o v e m e n t i st h ec o m b i n a t i o no fn e w L O C O Sp r o c e s s d e v e l o p m e n tw i t h p o l y g a t elit h o g r a p h y p r o c e s s ．I nL O C O Sd r ye t c h i n g ，s i l i c o nl

10、 o s sm a i n t a i n e da ta b o u t1 0 0 一2 0 0A ，p a do x i d e1 a y e rr e d u c e d f r o m3 0 0At o 13 5 A ，a n dL O C O So x i d et h i c k n e s sc h a n g ef r o m5 0 0 0A t o 4 0 0 0A ．T h e nt h e b i r d ’sb

11、e a kc a nb ee f f e c t i v e l yc o n ”o l l e db e l o w 0 ．1 I 腳 1 e v e l ， w h i c h b r e a k s t h o u g h t h e c o m p a n y ’ s o r i g i n a lt e c h n o l o g yb o t t l en e c ka n da c h i e v e sO ．4I 枷w

12、i d t hd e V i c e s ．A tt h es a m et i m el o w —v 0 1 t a g e d e v i c e w i d t hi s a l s o r e d u c d ， w h i c hi s a k e yt o s h r i n k t h ee n t i r ec h i pa r e a ． E m p l o y i n gB A R Ci n p 0 1 yg a

13、t el i t h o g r a p h yp r o c e s sc o u l dn a r r o wp a t t e r n d i f f e r e n c ew i t h i ns i n g l ec h i p a n dt h es t a b i l i t yo fp r o c e s sc a nb e i m p r o y e dt op r o v i d eas u f f i c i e

14、n tm a r g i no fp r o d u c t i o nw i t hl i t t l eC O S t ．W e a l s o s o l v e d p r o b l e m s o f W S i ，p e e l a n d c o n t a c t e t c h a r c i n g t oi n c r e a s e p r o d u c t y i e l d ， m a k e a c o

15、 n t r i b u t i o n f o r s u c c e s s f u l m a s sp r o d u c t i o n ．F i n a lf i x e d H Vd e v i c ep e r f O r m a n c e m e e tt h er e q u e s t e d o fc u s t o m e rw i t hI d s a to fH V N M O Sis a b o u t

16、 6 0 0 ¨A ／I 姍a n dH V P M O Sis a r o u n d4 0 0 ¨A ／p m ．T h r o u g ht h er e l i a b i l i t yt e s t t h ed e v i c e s ’ 1 i f e t i m ec a nb e g u a r a n t e e d f o rm o r et h a n 1 0 v e a r s ．K e