液相外延鈮酸鋰薄膜生長(zhǎng)中助熔劑影響的研究.pdf

1、鈮酸鋰晶體作為一種性質(zhì)優(yōu)良的鐵電晶體，具有十分優(yōu)良的電光、非線性光學(xué)、鐵電及光生伏打等諸多物理特性，出眾的特性使它日益成為諸多高新產(chǎn)業(yè)的核心材料。而隨著固態(tài)高科技產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展，對(duì)光電技術(shù)的集成化、微型化提出了更大的要求，從而使薄膜科學(xué)和技術(shù)愈加受到重視。因此對(duì)鈮酸鋰薄膜的研究，將具有重要的意義。 本文首先綜述了幾種生長(zhǎng)鈮酸鋰薄膜的主要方法：濺射法、脈沖激光沉積法、溶膠—凝膠法、液相外延法。其中著重介紹了液相外延法生長(zhǎng)鈮酸鋰薄膜

2、的一些情況，包括其發(fā)展、具體方法與原理、獲得的成果以及目前面臨的主要問(wèn)題——助熔劑的選擇。 針對(duì)此問(wèn)題，我們嘗試通過(guò)實(shí)驗(yàn)尋找新的助熔劑材料，以解決現(xiàn)有常用助熔劑材料對(duì)液相外延生長(zhǎng)鈮酸鋰薄膜所帶來(lái)的不利影響。在此，根據(jù)液相外延法選擇助熔劑的選擇原則，我們主要研究了氯化鋰、氯化鈉、氯化鉀和氯化鎂等四種氯化物材料。實(shí)驗(yàn)觀察了它們?cè)谏L(zhǎng)鈮酸鋰晶體薄膜時(shí)，對(duì)襯底材料的影響作用，并分析了它們作為液相外延生長(zhǎng)鈮酸鋰薄膜的新型助熔劑的可能性與發(fā)

3、展?jié)摿Α?實(shí)驗(yàn)中，我們生長(zhǎng)出的結(jié)果，由于控溫參數(shù)、實(shí)驗(yàn)環(huán)境、實(shí)驗(yàn)儀器精度等諸多因素限制，多以陶瓷膜體為主，但證明了LiCl、NaCl、KCl作為助熔劑生長(zhǎng)鈮酸鋰薄膜的發(fā)展?jié)摿ΑＭㄟ^(guò)這幾種氯化物助熔劑對(duì)襯底的影響研究發(fā)現(xiàn)，助熔劑LiCl、NaCl對(duì)襯底材料具有不同程度的破壞作用，這應(yīng)歸因于材料的蒸發(fā)—沉積作用;而KCl作為L(zhǎng)PE外延鈮酸鋰薄膜的助熔劑材料，對(duì)襯底無(wú)破壞作用。但從生長(zhǎng)效果而言,LiCl的效果綜合看來(lái)效果最佳，因此發(fā)展