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1、有機(jī)玻璃(PMMA)高分子聚合物是MEMS和MOEMS制備工藝中的重要材料,它的刻蝕效果直接影響到元器件的質(zhì)量.研究PMMA刻蝕有著實(shí)際的應(yīng)用意義.該論文的目的是通過對PMMA進(jìn)行深度反應(yīng)離子刻蝕及其側(cè)壁鈍化效果的研究,獲得高深寬比,側(cè)壁光滑陡直,底面平整光滑刻蝕效果的最佳工藝條件.在實(shí)驗(yàn)的基礎(chǔ)上,該文分析了PMMA氧化分解的機(jī)理,研究了不同的反應(yīng)離子刻蝕條件(包括刻蝕氣體成分及其成分比、刻蝕功率、刻蝕氣壓、氣體流量、刻蝕溫度)下所獲得
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