掩膜板在線更換伺服系統(tǒng)的精度控制研究.pdf

1、在制造工業(yè)發(fā)展的今天，精度問題一直是人們所關(guān)心的重要問題。如何提高精度，也成為了人們現(xiàn)在研究的主要話題。在制造工業(yè)中廣泛使用交流伺服電機來提高加工產(chǎn)品的精度。目前的交流伺服電機普遍應(yīng)用控制技術(shù)，伺服驅(qū)動器的使用，大大提高了伺服電機的運功性能。高精度在線自動更換掩膜板技術(shù)，基于三菱PLC伺服控制系統(tǒng)，通過PLC控制三套伺服系統(tǒng)，進而實現(xiàn)掩膜板高精度在線自動更換的功能。本系統(tǒng)主要的問題也是精度的研究，如何實現(xiàn)高精度在線自動更換是本文主要研究

2、的內(nèi)容。本文主要從伺服驅(qū)動器的參數(shù)優(yōu)化設(shè)計和伺服系統(tǒng)的程序優(yōu)化設(shè)計考慮，來對伺服進給系統(tǒng)的精度控制進行研究。
　　（1）伺服進給系統(tǒng)主要包括伺服電機，伺服驅(qū)動器，以及高精度伺服進給裝置。本文根據(jù)三個伺服驅(qū)動器的不同工作條件，設(shè)置不同的伺服驅(qū)動器的參數(shù)，達到每個伺服電機能夠高效，穩(wěn)定，高精度的運行，消除伺服電機在運行過程中對機械振動，爬行現(xiàn)象的影響，能夠有效提高控制系統(tǒng)的精度。
　?。?）伺服系統(tǒng)的程序設(shè)計，主要包括伺服電機的

3、原點回歸和定位控制程序。本系統(tǒng)設(shè)計的轉(zhuǎn)盤回歸程序與轉(zhuǎn)盤定位程序都是朝一個方向旋轉(zhuǎn)，意味著轉(zhuǎn)盤伺服電機永遠只向一個方向旋轉(zhuǎn)，有效的消除了蝸輪蝸桿減速器在回程時的齒輪間隙誤差，提高了轉(zhuǎn)盤的定位精度。在轉(zhuǎn)盤選擇相對位置編程指令下，設(shè)置相位掩膜板抓取順序表，設(shè)計伺服控制算法程序，保證在系統(tǒng)運行過程中，定位抓取任意一個相位掩膜板的時間是等同的。根據(jù)需求，分別設(shè)置轉(zhuǎn)盤與二位傳送平臺的定位控制指令。
　?。?）在設(shè)置完成所有伺服驅(qū)動器的參數(shù)設(shè)計