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1、東南大學(xué)碩士學(xué)位論文1.0微米先進(jìn)鋁柵工藝開發(fā)姓名:趙少峰申請學(xué)位級別:碩士專業(yè):軟件工程(集成電路)指導(dǎo)教師:時(shí)龍興滕敬信20070515AbsⅢAbstractThekeytothereliablemanufaclureofsemiconductordevicesandICsaremeasurementandcontrolofcriticalmaterialspro叫i∞,equipmentcharacteristicsandfab
2、ricationandmblys哦NowthefashionfeannedimensionsmthemicrometerandsubmicrometerMGLV(10wvoltagemetalgaze)鋤rac忸humanbeingfori忸lowcosthigllperformance/costratioandsimpletechnologyButitisadifficultproblemthathowtoincreaseintegr
3、ateddensityanddecreasechannellengthInnormaltechnologys伽ld扣吐ALGateMOSde“c岱willsuffermoreandmorelowchannellengtheffectDIBL,hotcarrierswhichwillcⅫ∞Ⅱ““丘ofvoltage。thereduceofBVandthepunchauoughofsourceanddrainAlleffectswillcⅫ
4、悅insecurityofdevilThepurposeofthispaperistosolve棚thesequestionsThedewiczissimulatedbyTsuprem4andMedicandtheresultwillbeproofieadbythefabricateddevi倦ThetechnologyismelioratedandthedesignmleofMGLVisobtainedTheproposeciICIl
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