閉環(huán)迭代學習策略及其在光刻機精密運動平臺中的應用.pdf

1、光刻機精密運動平臺系統(tǒng)是工件臺控制系統(tǒng)的核心部分，大體包括晶圓的步進掃描曝光和旋轉換臺兩個部分。對這兩部分的系統(tǒng)控制將極大地決定了光刻機的刻制精度和刻制效率。因此，本文圍繞精密運動平臺系統(tǒng)展開研究工作，對步進掃描曝光和旋轉換臺兩個運動過程展開分析。
　　首先，簡單分析了光刻機的整體結構，對工件臺系統(tǒng)的結構以及宏動電機的分布情況有一個大體的把握。對步進掃描運動和換臺運動進行了詳細地分析，弄清了兩個過程的動作要點和運動流程。
　

2、　其次，提出對步進掃描運動和旋轉換臺運動兩個控制過程進行迭代學習控制（即Iterative learning Control，簡稱ILC）。對閉環(huán)PID型ILC系統(tǒng)的控制律和結構進行了介紹分析，仿真得出這種控制策略對控制目標的跟蹤特性有很好的改善。為了提高ILC系統(tǒng)的收斂速度，提出應用高階閉環(huán)迭代做控制，仿真可得這種控制策略具有不錯的收斂速度。然后，對高階閉環(huán)迭代學習控制進行了擾動抑制仿真，得出系統(tǒng)對周期性干擾有很好抑制作用，對非周期性

3、干擾抑制能力不強。
　　再次，根據(jù)前面的ILC系統(tǒng)對非周期性擾動抑制能力不強的特點，提出應用帶遺忘因子的高階閉環(huán)迭代系統(tǒng)。針對α系數(shù)的調(diào)整，設計不斷修整初始修正項U0的控制方法。搭建SIMULINK進行仿真，得出這種方案仍有很好的跟蹤特性與學習收斂速度。對系統(tǒng)進行非周期性力的擾動和測量信號的擾動的抑制仿真，得出：遺忘因子高階閉環(huán)迭代系統(tǒng)對非周期性擾動有很好的抑制能力。分析系統(tǒng)擾動后的恢復速度，提出采用閉環(huán)PID迭代學習對擾動進行抑