平板顯示新進展

1、平板顯示新平板顯示新進展進展技術(shù)的不斷成熟，液晶顯示器已經(jīng)基本普及，價格對于普通消費者來說也可以接受，即便如三星、華碩、LG等廠商生產(chǎn)的科技含量較高的中高端液晶顯示器的價格也并非“高不可攀“。LCD技術(shù)的飛速發(fā)展，諸多弊端取得了長足的進步，LCD顯示器已經(jīng)開始取代CRT成為人們?nèi)粘Ｉ钪凶钪饕娘@示設備。下面我們就詳細談談液晶顯示的兩個最引人注目的發(fā)展方向低溫多晶硅：LCD的明日之星早在1999年，低溫多晶硅LCD便已經(jīng)問世，因此它談不

2、上是什么新技術(shù)。但由于種種原因，低溫多晶硅技術(shù)發(fā)展緩慢，甚至長時間停留在口頭上，直到近期該領域出現(xiàn)突破性進展之后才開始被外界重新注意。低溫多晶硅的全稱是“LowTemperaturePolySilicon”，它是多晶硅技術(shù)的一個分支。對LCD顯示器來說，采用多晶硅液晶材料有許多優(yōu)點，如薄膜電路可以做得更薄更小、功耗更低等等。但在多晶硅技術(shù)發(fā)展的初期，為了將玻璃基板從非晶硅結(jié)構(gòu)（aSi）轉(zhuǎn)變?yōu)槎嗑Ч杞Y(jié)構(gòu)，就必須借助一道激光退火（Laser

3、Anneal）的高溫氧化工序，此時玻璃基板的溫度將超過攝氏1000度。眾所周知，普通玻璃在此高溫下就會軟化熔融，根本無法正常使用，而只有石英玻璃才能夠經(jīng)受這樣的高溫處理。而石英玻璃不僅價格昂貴且尺寸都較小，無法作為顯示器的面板，廠商很自然選擇了廉價的非晶硅材料（aSi），這也是我們今天所見到的情形。不過，業(yè)界并沒有因此放棄努力，發(fā)展低溫多晶硅技術(shù)成為共識，在經(jīng)過多年的努力之后，低溫多晶硅終于逐步走入現(xiàn)實。與傳統(tǒng)的高溫多晶硅相比，低溫多晶

4、硅雖然也需要激光照射工序，但它采用的是準分子激光作為熱源，激光經(jīng)過透射系統(tǒng)后，會產(chǎn)生能量均勻分布的激光束并被投射于非晶硅結(jié)構(gòu)的玻璃基板上，當非晶硅結(jié)構(gòu)的玻璃基板吸收準分子激光的能量后，就會轉(zhuǎn)變成為多晶硅結(jié)構(gòu)。由于整個處理過程是在攝氏500600度以下完成，普通的玻璃基板也可承受，這就大大降低了制造成本，將多晶硅技術(shù)引入LCD顯示器領域也就完全可行。而除了制造成本降低外，低溫多晶硅技術(shù)的優(yōu)點還體現(xiàn)在以下幾個方面。傳統(tǒng)的非晶硅材料LCD，電